飞秒激光晶圆划片机

飞秒激光晶圆划片机是专业为太阳能电池激光划片,激光刻膜,激光烧蚀加工开发的小型太阳能电池飞秒激光晶圆切割划片机，广泛用于晶圆边缘隔离，晶圆背向接触烧结（Back contact laser fireing,BCLC),晶圆激光打标和晶圆切割。
这套飞秒激光晶圆划片机使用了高精度的扫描振镜，可以加工5''和6''的晶圆硅片.

太阳能电池飞秒激光晶圆划片机配备的软件能够精确探测晶圆边缘,控制XYZ三维的光束定位，并监控激光功率等参数。
这套飞秒激光晶圆划片机为大学或科研院所提供了一种多功能,高精度的太阳能电池晶圆的加工设备,可以广泛用于晶圆激光打标,晶圆边缘隔离，晶圆背向接触烧结（Back contact laser fireing,BCLC)以及晶圆切割。
在制造晶体硅太阳能电池过程中通常使用p型晶圆，通过磷扩散形成n型层。这种n型层形成于太阳能电池表面，被称作发射极，当然此时也形成了p-n结。在对边缘未隔离之前，边缘电流会减少太阳能电池的效率。 现在通常使用激光晶圆划片机超快激光进行边缘隔离, 使用激光对距离上表面150-300微米的区域进行激光切割。太阳能电池激光划片机,这种切割深度不得小于发射极的深度(2-10微米）。
我们在这套激光晶圆划片机中使用高精度的扫描振镜控制激光光束进行切割，并配备了一流的机械视图功能，可以实时探测到晶圆位置以及边缘隔离的精度, 配备的软件可以让用户在“科学研究“和”工业应用“两种模式下选择使用。