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  • 12英寸晶圆轮廓仪是为半导体晶圆形貌测量设计的多功能晶圆形貌仪器,集成光学传感器,实现无接触地测量样本。XYZ行程范围300mm x 300mm x 100mm,测量范围100um-25mm
  • 这款三维表面轮廓仪是进口的高精度多功能表面轮廓测量仪器,也是一款光学轮廓仪,非常适合对表面几何形状和表面纹理分析,以标准方案或定制性方案对2D轮廓或三维轮廓表面形貌和表面纹理,微米和纳米形状,圆盘,圆度,球度,台阶高度,距离,面积,角度和体积进行多范围测量。
  • 三维表面形貌仪是进口多功能光学形貌仪,集成光学传感器,实现无接触地测量样本。XYZ行程范围:100mm x 100mm x 100mm,测量范围:100um-25mm.
  • 便携式光学轮廓仪集成光学传感器,可在任何地方无接触地测量样本。这种测量光学轮廓仪也可以在实验室中集成在大理石上,可以很容易地运到生产线附近的车间或非常大的零件上进行测量。XYZ行程范围:50mm x 50mm x 50mm,测量范围:100um-25mm
  • 平面度和应力测试仪可非接触式测量各种反射硅片和玻璃表面平面度、波纹度和薄膜应力,广泛用于晶圆硅片、反射镜、金属表面或抛光聚合物。
  • 晶圆金刚石划片机MR200为结构化硅片的限定切割和高精度划线而设计,特别适合半导体行业中的REM制备,还适用于实验室对芯片单体化划片或切割。
  • 电子自准直仪是电子准直的自动准直仪器,具有电控内焦功能.电子自准直仪EFAM是具有电动内部聚焦功能的准直自准直仪,使用相机和图像处理系统来记录测量值。电动控制可以适应特殊任务。这同样适用于测量值的获取和输出。
  • 红外自准直仪是专门为1550nm波长设计的电子红外自动准直仪器,具有电子图像评估功能和1弧秒的精度。
  • 光学镜头测量仪是为光学镜头和光学模组分析测试设计的光学镜头分析测试仪器,满足镜头经典光学参数的测量系统,如EFL(焦距)(正/负)、BFL、FFL、半径(凹/凸)、轴上MTF以及单透镜和光学系统的对中误差,配备软件模块还可测量空气距离、透镜厚度和组装光学系统中表面居中。
  • 显微光学传递函数分析仪MTF Micro是为极短焦距的微光学元件设计的光学传递函数测试仪器,它在5个像场点和焦点测量MTF切向和矢状。
  • 高精度光学传递函数测量仪是六轴电动MTF测试仪器,软件控制MTF测试分析,满足有限/有限对象/图像共轭光学测量应用。
  • 场发射扫描电镜semiron5000是高分辨率FE-SEM扫描电镜,也是肖特基型高分辨率FE-SEM,采用65°锥形物镜,专为大样本检测而*化-无限制分析附件的短距离工作,可配备EDS、EBSD和WDS等探测器实现宽样本的高分辨率图像。分辨率:1nm@30KV SE探测器,2nm@BSE探测器,放大倍率:10x~1,00,000x。
  • 高分辨率扫描电镜AIS2500C配备了LaB6,以便获得高分辨率扫描电镜SEM图像。它采用Mu金属合金用于***小化放大和升级的屏蔽和耐久性65°锥形物镜,实现宽样本的高分辨率图像。分辨率:2nm@30KV SE探测器,3nm@BSE探测器,放大倍率:10x~1,00,000x 。
  • 科研级SEM电镜采用小型扫描电镜结构设计,适合高校等科研院所获得SEM图像,放大倍率为20-30000X,分辨率高达3nm,可在办公室使用。
  • 科研级扫描电镜采用小型SEM结构设计,适合高校等科研院所SEM图像采集,放大倍率为20-20000X,分辨率4nm, 可在办公室使用。
  • 桌面型扫描电镜是结构紧凑的微型SEM, 桌面型的扫描电镜结构使得它非常适合各种SEM图像获取应用。放大倍数***大60,000X (使用BSE探测器)。
  • 微型台式扫描电镜是结构紧凑的科研SEM, 桌面型的扫描电镜购置使得它非常适合各种SEM图像获取应用。
  • 电镜原位等离子体清洁器EM-KLEEN可用于电子显微镜和分析仪器(如SEM、FIB、TEM、XPS和SIMS)的样品和真空室的原位清洁。它可以有效去除高真空或超高真空室内的碳氢化合物和氟碳化合物污染,提高***终真空水平,减少泵停机时间。它还可以在表面成像和分析之前去除样品表面的有机污染物。
  • 四探针方块电阻测量仪是为Sheet Resistivity薄层电阻率测量设计的四点探针电阻测量仪器,满足各种材料的薄层电阻率测量,包括IV族半导体、金属和化合物半导体,以及平板显示器和硬盘中发现的新材料。
  • 薄膜测厚仪TohoSpec 3100是高精度薄膜厚度测量系统,采用小光斑光谱反射计获得薄膜厚度信息,可靠的固态线性二极管阵列可快速、精确地测量单层薄膜,如氧化物、氮化物和光刻胶,以及厚度范围为100Å至30µm的多达3层薄膜堆叠的顶层。
  • 薄膜应力测量仪Toho FLX提供热循环和环境自动旋转型号,可对各种薄膜和衬底进行准确的应力测量,确定和分析沉积薄膜引起的表面应力。
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