小型六自由度摇摆台

小型六自由度摇摆台是六轴摇摆台hexapod,适合高精度六自由度定位应用。
小型六自由度摇摆台特色
行程范围30mm
负载高达25kg
分辨率：0.5um
小型六自由度摇摆台典型应用
仪器科学与技术
航空航天
光学
计量
天文学
半导体等
小型六自由度摇摆台规格参数
行程范围Tx,Ty：+/-30mm
行程范围：Tz： +/-20mm
行程范围：Rx,Ry:+/-11度
行程范围：Rz: +/-20度
分辨率Tx,Ty,Tz: 0.5um
分辨率Rx, Ry,Rz: 5urad
重复精度Tx,Ty,Tz: +/-0.75um
重复精度Rx,Ry,Rz:+/-3.2urad
速度Tx, Ty: 3mm/s
速度：Tz:  1.25mm/s
速度Rx Ry: 1.25度/秒
速度Rz : 0.75度/秒
负载: 25kg
刚度 XY:1.75N/um
刚度Z: 30N/um
工作温度：0-50℃
位移平台： dia250mm
中间通孔：dia 100mm
自身重量：5.6kg
线缆长度：3m
供电要求：110-240VAC