移相点衍射干涉仪用于表面形状和透射波前质量的超高精度测量。
移相点衍射干涉仪检测表面或波前的绝对图形。绝对数字是指从绝对参考（即亚波长孔径衍射产生的完美球面波阵面）计算测量形式。
性能指标
峰谷绝对精度：±0.6 nm（λ/1000）
峰谷分辨率：0.05 nm（λ/12000）
波前RMS重复性：<0.23 nm（λ/2800）
简单RMS重复性：<0.06 nm（λ/10500）
激光类型和波长：稳定的He-Ne，632.8 nm
数值孔径NA:0.55（f#0.91）
数据采集：相移干涉测量法（PSI）
