这款
超薄电动位移台是一种电动控制超低剖面位移平台,采用超低剖面设计,厚度小,主体由不锈钢制成,超薄电动
位移台极大地降低
位移台厚度高度
,保证了电动
位移台在运行过程中的***大稳定性.
超薄电动位移台主体由不锈钢制成,*化了平移台尺寸,从
位移台底座到顶部台面的高度只有20mm。
超薄电动位移台非常适用于真空环境,我们即可以提供用于初级真空(***高达10^-3Torr)的真空超薄电动平移台,也可提供用于高真空（***可达10^-6Torr）的高真空
超薄电动位移台,具有真空电机,特殊的高真空清洁和包装技术。
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超薄电动位移台规格
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型号 |
8MT60-200-4247 |
8MT60V-200-VSS42 |
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行程范围 |
200 mm |
200 mm |
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整步分辨率 |
2.5 µm |
2.5 µm |
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丝杠螺距 |
0.5 mm |
0.5 mm |
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双向重复精度 |
根据要求提供 |
根据要求提供 |
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单向重复精度 |
根据要求提供 |
根据要求提供 |
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绝对轴向精度 |
根据要求提供 |
根据要求提供 |
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pitch |
根据要求提供 |
根据要求提供 |
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yaw |
根据要求提供 |
根据要求提供 |
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反冲 |
根据要求提供 |
根据要求提供 |
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***快速度 |
10 mm/s |
5 mm/s |
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水平载重 |
8 kg |
8 kg |
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垂直载重 |
3 kg |
3 kg |
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移动台尺寸 |
75x60 mm |
75x60 mm |
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底座材料 |
不锈钢/铝 |
不锈钢 |
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处理 |
不涂层/白色阳极氧化处理 |
不涂层 |
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步进电机 |
4247 |
VSS42 |
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环境压力 |
标准大气压(可按要求提供10^-3Torr) |
10^-6Torr |
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直流电机 |
根据要求提供 |
根据要求提供 |
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电极连接接口 |
DB9(M) |
HDB15(M) |
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限位开关 |
2 机械 |
2 机械 |
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阳极转换开关 |
Pushed is closed |
Pushed is closed |
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测量系统 |
公制 |
公制 |
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重量 |
1.9 kg |
1.9 kg |
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底板 |
3BP60-A |
3BP60V-A |
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XY二维搭建 |
2CP60配件 |
2CP60V配件 |
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Z轴竖直 |
2AB60直角支撑架 |
2AB60V |
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电缆长度 |
1.6 m |
1.6 m |
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控制器推荐 |
8SMC5-USB |
8SMC5-USB |
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推荐电源 |
PS36 |
PS36 |
真空五轴调整架
