高精度电动XY线性平移台

高精度电动XY线性平移台是一款高精度直接驱动线性位移台,采用光学编码器和3相无铁直线无刷伺服电机确保了平移台高精度,高可靠性和低磨损,零反冲backlash。
高精度电动XY线性平移台采用线性旋转非接触式编码器作为反馈系统,确保了非直接控制定位,精度高达压纳米分辨率。

高精度电动XY线性平移台采用自然时效铝合金确保高温稳定性和柔软性,以及良*的长周期运动学特性,做到导向系统无漂移。特殊的导轨带有滚珠轴承确保该平移台且经久耐用。
高精度电动XY线性平移台标准品可以用于真空度达到10^-3Torr的真空环境，并可提供适用*高真空度的产品,也可根据用户要求提供*高洁净度的产品。
高精度电动XY线性平移台可以很快连接到光学平台上,可直接搭建成电动XY二维平移台系统,并具有良*的正交特性。
对于工业应用,电动XY线性平移台即可安装到各种光学平台，也可以安装到高平整度大理石龙门架上,保证高精度位移和平移定位应用。
高精度电动XY线性平移台特点
直接驱动电机技术
零反冲backlash
高分辨率非接触式光学编码器
超低剖面,线性电机
高精度线性导向系统带有交叉滚珠轴承,具有抗蠕动性能
容易集成到公制或英制学机械中
默认正交性能高≤5arcsec
高精度电动XY线性平移台规格参数

1)  默认为x4转PPR-脉冲数/每转，模拟SIN/COS编码器接口
2)绝对精度和双向重复定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer测量计算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 电子自相关仪器测试,电子自相关仪11D-ALI-COL分辨率1µrad. 环境误差1µrad.
4) ***大速度由编码器限制和驱动器CUT-OF频率以及导向系统限制.
5)***大加速度由驱动器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)决定.
6)负载能力由导向系统决定.
7) 运动质量是系统常数m₀,通常是没有负载时的惯性。
8) 推荐的控制器和驱动器有助于发挥电动平移台的性能.
9) 推荐的电源是根据用户的占空比和负载来选择.
10) 差分输出接口,可提供主动或被动LCMv2接口.
11) 可组成正交性能**的XY二维电动位移台系统.
12) 标量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通讯接口,矢量控制建议采用EtherCAT接口。
13) 平移台包括特殊封盖,可用于灰尘严重或湿度较大的环境。