纳米线性定位器

纳米线性定位器SLC-17系列是高精度线性纳米定位器,具有不同的宽度和高度,非常适合微纳定位系统使用,具有可靠的稳定性和极高的定位精度。这些线性定位器还具有非磁性材料类型,能够兼容10^-11mbar真空环境。
纳米线性定位器SLC-1720系列具有紧凑的结构和微小的外形尺寸,可以植入位置传感器从而**地胜任微纳定位任务.
纳米线性定位器SLC-1720系列产品都能达到blocking force FB > 3.5 N, ***大力FN~30 N,***大Lift force FL>11.5N,速度达到20mm/s。

纳米线性定位器SLC-17系列规格参数

型号	SLC-1720	SLC-1730	SLC-1740	SLC-1750	SLC-1760	SLC-1770	SLC-1780
分辨率	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm
负载	20N(2kg)	30N(3kg)	30N(3kg)	30N(3kg)	30N(3kg)	30N(3kg)	30N(3kg)
适合真空度	10-11 mbar	10-11 mbar	10-11 mbar	10-11 mbar	10-11 mbar	10-11 mbar	10-11 mbar
行程范围	12mm（+/-6mm)	12mm（+/-6mm)	26mm（+/-13mm)	31mm（+/-± 15.5mm)	41mm（+/-± 20.5mm)	46mm（+/-± 23mm)	51mm（+/-± 25.5mm)
步进1	1-1500nm	1-1500nm	1-1500nm	1-1500nm	1-1500nm	1-1500nm	1-1500nm
扫描范围	>1.5um	>1.5um	>1.5um	>1.5um	>1.5um	>1.5um	>1.5um
扫描分辨率	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm
速度	>20mm/s	>20mm/s	>20mm/s	>20mm/s	>20mm/s	>20mm/s	>20mm/s
***大频率	18.5KHz	18.5KHz	18.5KHz	18.5KHz	18.5KHz	18.5KHz	18.5KHz
阻尼力Fb	>3.5N	>3.5N	>3.5N	>3.5N	>3.5N	>3.5N	>3.5N
***大正向力Fn	20N	30N	30N	30N	30N	30N	30N
***大升力Fl	>1.5N	>1.5N	>1.5N	>1.5N	>1.5N	>1.5N	>1.5N
尺寸	22 x 17 x 8.5 mm^3	30 x 17 x 8.5 mm^3	40 x 17 x 8.5 mm^3	50 x 17 x 8.5 mm^3	60 x 17 x 8.5 mm^3	70 x 17 x 8.5 mm^3	80 x 17 x 8.5 mm^3
重量	13g	20g	26g	32g	38g	45g	51g
pitch俯仰力矩Mp	0.6Nm	1.2Nm	3.0Nm	4.6Nm	7.6Nm	10.1Nm	12.5Nm
yaw偏航力矩My	0.6Nm	1.2Nm	3.0Nm	4.6Nm	7.6Nm	10.1Nm	12.5Nm
roll扭转力矩Mr	0.4Nm	0.6Nm	1Nm	1.2Nm	1.4Nm	1.6Nm	1.9Nm
Closed-Loop-S 传感器分辨率	1nm	1nm	1nm	1nm	1nm	1nm	1nm
Closed-Loop-S 重复精度2	+/-25nm	+/-30nm	+/-40nm	+/-50nm	+/-60nm	+/-70nm	+/-80nm
Closed-Loop-L 传感器分辨率	4nm	4nm	4nm	4nm	4nm	4nm	4nm
Closed-Loop-L 闭环分辨率	+/-500nm(H)CU, 4nm MCS	+/-500nm(H)CU, 4nm MCS	+/-500nm(H)CU, 4nm MCS	+/-500nm(H)CU, 4nm MCS	+/-500nm(H)CU, 4nm MCS	+/-500nm(H)CU, 4nm MCS	+/-500nm(H)CU, 4nm MCS
Closed-Loop-L 重复精度	+/-1um(H)CU, +/-50nm MCS	+/-1um(H)CU, +/-60nm MCS	+/-1um(H)CU, +/-80nm MCS	+/-1um(H)CU, +/-100nm MCS	+/-1um(H)CU, +/-120nm MCS	+/-1um(H)CU, +/-140nm MCS	+/-1um(H)CU, +/-160nm MCS

说明：
步进1：低振动模式时的扫描模式下步进为1nm,其它模式为50-1500nm
Closed-Loop-S重复精度2：是全行程的重复精度，行程范围小时重复精度会**
材料和真空可选项：
钢铁和钛金属材料底座可选
非磁性材料可选
液氮温度CR可选
黑色氧化铝表面处理可选
兼容真空（10^-6mbar)和高真空环境(10^-11mbar)处理工艺可选