大型自动光学检测系统AOI

大型自动光学检测系统AOI是为14''晶圆光学检测设计的自动光学检测机器,非常适合微电子与半导体检测,自动光学检测晶圆、芯片、引线键合等。
大型自动光学检测系统AOI的900系列是一个模块化AOI检查平台,提供一系列**的光学和操控性
解决方案包括3D、高分辨率成像和quad彩色照明。摄像头和光学系统可扩展到分辨率低于1微米。此外，一系列可定制物料搬运配置包括…在内刀库处理、带钢处理、托盘处理和晶圆处理。
大型自动光学检测系统AOI非常适合晶片、芯片和引线、键合检查等。提供自动检查和校准功能,适合半导体和微电子领域的测量解决方案。
大型自动光学检测系统AOI平台提供***高的分辨率,2D和3D功能和光学,微电子、包装和三坐标测量功能。
大型自动光学检测系统AOI使用高分辨率3D系统、12MP分辨率摄像头、多层照明和多通道技术。
大型自动光学检测系统AOI特点
满足100级超净间标准 （请联系我们确认）
较高测量能力，较大吞吐量
高分辨率3D检测，微光学物镜,
100-300mm晶圆
引线键合检测

大型自动光学检测系统AOI规格参数

型号	MVP900	+LP7	+LP15	+Micro
检测能力	晶圆,切片晶圆,引线键合,引线框架,微电子,3D粘贴,焊剂,保形,环氧树脂,胶水,RF, BGA, CMM,模具、表面检查、陶瓷、厚膜、汽车等
编程速度	增强的工具，允许您使用或不借助CAD生成程序
X和Y运动系统	精密XY位移台具有0.5微米的定位精度
光学分辨率	0.3~5um可选择（请您订购时选择确定分辨率）
光学相机	分辨率2500万像素或1200万像素可选
光学照明	白光或Quad彩色照明
3D测量原理	3D光源照明	激光轮廓仪	激光轮廓仪	微观测量
3D速度		0.5cm/s	2.4cm/s	由应用决定
3D传感器 XY分辨率		2.5um	5um	250-350nm
3D传感器 Z重复精度		0.3um	0.4um	0.5um
***大零件高度	35mm	35mm	35mm	35mm
计算机	多线程高级计算机，配置不低于1TB SSD硬盘，32-256G内存，Linux系统
检测的外部尺寸	355mm x 355mm  (14'')
片厚	0.01-12.5mm
外形尺寸	W844mm x D1066mm x H1473mm
传送带长度	850mm
供电要求	208-240VAC,10A, 50/60Hz
重量	680kg
符合标准	S2/S8, CE