266nm连续DUV激光器

这款266nm连续DUV激光器是OXIDE是深紫外DUV波长266nm单频激光器。OXIDE高可靠性波长转换模块和独特的高速、精密音圈电机（VCM）激光器实现了连续波的稳定运动。根据输出功率，您可以从三种类型中选择合适的型号–Frequad HP、Frequad-M和Frequad-C。
266nm连续DUV激光器*点
超高纯BBO晶体确保高质量倍频
在1W输出功率下，单点寿命超过3000小时，在2W输出功率下，单点寿命超过1000小时。此外，晶体的微小劣化确保了在高光束质量下长时间稳定运动。
精密伺服锁技术
独特的高速、高精度音圈电机（VCM）伺服驱动器提供稳定的连续激光运动。
低功耗
高效的波长转换激光系统实现了极低的功耗——小于340W。
266nm连续DUV激光器典型应用
半导体检测
拉曼光谱激发
光致发光激发
磁盘母盘
光纤布拉格光栅
266nm连续DUV激光器规格参数

型号	Frequad-HP FQ50-20/-10	Frequad-M FQM-10/-07/-05/-03	Frequad-C FQC-50/-20
波长	266 nm	266 nm	266 nm
输出功率	2.0/1.0 W	1.0/0.7/0.5/0.3 W	50/20 mW
线宽	< 0.005 pm	< 0.005 pm	< 0.005 pm
功率稳定性	< +/-1 %/8 hrs	< +/-1 %/8 hrs	< +/-3 %/8 hrs
消光比	> 100:1	> 100:1	> 100:1
光束质量	TEM00, M2 < 1.2	TEM00, M2 < 1.2	TEM00, M2 < 1.3
偏振态	Vertical, Linear	Vertical, Linear	Vertical, Linear
光斑直径	3 mm ±0.3 mm	3 mm ±0.3 mm	0.8 mm ±0.2 mm
发散角 (1/e2)	< 0.2 mrad	< 0.2 mrad	< 0.4 mrad
供电要求	AC 100-240V 50/60Hz	AC 100-240V 50/60Hz	AC 100-240V 50/60Hz
功耗	< 300 W	< 340 W	< 70 W
制冷	Air	Water	Air
激光头尺寸	240 x 840 x 160 mm	350 x 590 x 124 mm	153 x 202 x 79 mm