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压电变形镜
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压电变形镜

这款压电变形镜采用叠层式压电致动器Stack actuators驱动可变形反射镜,形成压电驱动变形镜系统。
型号:
FPAPA-Stack
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
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这款压电变形镜采用叠层式压电致动器Stack actuators驱动可变形反射镜,形成压电驱动变形镜系统。
这款压电变形镜采用压电陶瓷柱(称为致动器)粘在玻璃薄片上制成,玻璃薄片可进行反射膜镀膜,当执致动器极化时,反射镜弯曲,弯曲的方向取决于电压极性。

压电变形镜是高分辨率成像和激光成像中高阶像差校正的最佳选择(泽尼克系数>24)。
压电变形镜优点

高阶校正
压电变形镜具有高密度的执行器,具有较小的执行器间距,因此能够很好地适应高阶像差校正(Z>>24)。
大形变行程
压电致动器的最大行程标准为10mm,最大致动器间行程标准为2mm
高速致动
压电变形镜可在高达1kHz的最高速度下工作,并具有高达15kHz的第一共振频率。
多用途
压电变形镜可以使用任何类型的衬底和任何种类的涂层,因此它可以覆盖从X射线到远红外的全光谱范围。
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压电变形镜规格参数
有效直径                         10-100mm
致动器数量                           高达512
致动器尺寸                         10mm
致动器间距                    2um
频率                                 高达1kHz(第1次共振@15kHz
镜片材质                     玻璃,硅,铜,压电陶瓷
镀膜材质             金属膜、介质膜、激光损伤高达20J/cm2ns脉冲)
光谱范围                122nm10.6um

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