这款激光对准仪是
激光准直仪,光束准直仪和光束对准仪器,以精确到0.1µm的分辨率实时测量光束位置和角位移,同时显示功率,用于连续激光准直对准。
激光对准仪主要应用
1.
激光对准仪检查滑轨误差
激光对准仪以高精度测量机械装置的公差和误差。
激光对准仪探头安装在一个行进托架上，用一个激光器同时对准探测器来确定平直光路。托架沿着滑轨移动，
激光对准仪测量两轴线上垂直于运动方向的光束位置和角度变化。位置和角度读数的任何变化都是测量的滑轨或轴承，或是两者上都存在的缺陷,畸变或形变。
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2.
激光对准仪检测准直
使用
激光对准仪可以测得光束相对于外箱或外管的漂移，可用于校对激光束想相对于激光外壳的位置。同时还可以监测光束功率波动。同时使用位置和角度的屏幕，可以轻易地跟踪光束，同时图表功能项会一直记录和储存数据。
3.
激光对准仪铰接臂的对准
4.
激光对准仪激光器和激光管的对准
5.
激光对准仪对准晶圆检测的激光系统
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激光对准仪特点
同时测量光束位置,角位移,功率
提供ActiveX组件植入用户的软件
提供两种不同的PSD（位置灵敏探测器）
有多个设备操作功能
数据通过RS232接口直接记录到Excel文件中
激光对准仪常规参数
激光对准仪探头是两个PSD,分束器和透镜组件组成
| PSD位置灵敏探测器大小 |
9mmx9mm (标准) |
4mmx4mm(可选) |
| 类型 |
双轴Si树脂材料,不玻璃封盖 |
| 所用光束大小范围 |
50µm~Ø8mm |
50µm~Ø3mm |
| 更新频率 |
最大150Hz @ 500Hz数字滤波器 |
| 光谱范围 |
350-1100nm |
| 位置测量范围 |
最大8mm直径 |
最大3mm直径 |
| 激光功率范围 |
10µW-10mW带滤波片,功率精度 (*)±5% |
| 透镜类型 |
消色差平-凹透镜,增透镀膜 |
| 激光分束器 |
50:50, 非偏振,增透镀膜 |
| 温度范围 |
0°C - 35°C |
| 可选配件 |
中性密度滤波片, Hood |
（*）为了充分保证标定精度,可能必须使用中兴密度滤波片ND来操作过超过1mW /PSD@633nm的光束
激光对准仪规格一 （型号为50)
透镜焦距长度 50mm
位置分辨率 50Hz数字滤波器+平均，高清到0.1µM
定位精度 ±15µm 边缘到边缘（±8µm）
角度测量范围 180 mRad (90 mRad)
角分辨率 0.02 mRad (0.01 mRad)
测角精度 0.5 mRad边缘到边缘（0.01 mRad）
重量 140 Gr，不包括电缆
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激光对准仪规格二 （型号为100)
透镜焦距长度 100mm
位置分辨率 50Hz数字滤波器+平均，高清到0.1µM
定位精度 ±15µm 边缘到边缘（±8µm）
角度测量范围 80 mRad (40 mRad)
角分辨率为 0.01 mRad (0.006 mRad)
测角精度 0.25 mRad边缘到边缘（0.15 mRad）
重量 180 Gr，不包括电缆
注：所有的值（在括号中）都是4X4mm PSD版本的值
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激光对准仪测量能力
位置
实时显示X，Y光束质心。
主要功能：设置相对中心，执行缩放，警告设置，平均。
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角度
实时测量光束角偏差。
主要功能：设置相对中心，执行缩放，警告设置，平均。
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数字
以大号数字显示显示位置或角度，方便从远距离查看。
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图表
随时间显示X、Y位置，或X、Y角的变化，有自动缩放和保存选项。
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功率
由模拟和数字显示器显示功率。
主要特点：改变测量单元，加载滤波器文件，抑制环境光。显示每个PSD的功率。
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功率图
随时间显示功率变化，用于位置传感器和角度传感器，具有自动缩放和保存选项。
最低的软件和硬件要求：
奔腾4，2.4GHz，512MB 内存，15MB 硬盘，1×CD ROM、VGA 8MB 1024x768分辨率，16位，1个USB 2.0端口，Windows XP / 7
