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小型工业准分子激光器
小型工业准分子激光器EX5A和EX5AR(加固型)在微型准分子激光器基础上提高激光性能,激光器寿命大大延长,激光能量输出和平均功率也高于标准的准分子激光器。非常适合需要高占空比和最少维护的激光应用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽8~10ns,重复频率250Hz/500HZ/1000HZ/2000Hz,248nm激光功率高达8W,193nm激光功率高达4W。
型号:
FPGAM-EX5A
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
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info@felles.cn
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021-51300728
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小型工业准分子激光器
EX5A
和
EX5AR
(加固型)在微型
准分子激光器
基础上提高激光性能,激光器寿命大大延长,激光能量输出和平均功率也高于标准的准分子激光器。
非常适合
需要高占空比和最少维护的激光应用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽8~10ns,重复频率250Hz/500HZ/1000HZ/2000Hz,248nm激光功率高达8W,193nm激光功率高达4W。
小型工业准分子激光器
EX5A/AR
规格
工作物质
F2 ArF KrF XeCl XeF
波长
nm 157 193 248 308 351
最大能量
mJ 1.5/2.5* 14 20 12 8
峰值功率
MW 0.30 2.0 2.5 1.25 0.8
平均功率
W@250Hz 0.3/0.4 3.0 5.0 2.5 1.4
平均功率
W@500Hz 0.5 6.0 8.0 4.0 2.5
平均功率
W@1000Hz 1.0 9 14 6.0 5.0
最大能量
mJ @2000Hz 0.7 0.9
平均功率
W@2000Hz 1.0 1.4
动态气体寿命@50%能量
10E6 12E6 18E6 20E6 15E6
50%
能量保存期
10
天
15
天
30
天
>2
个月
30
天
脉宽
ns 8-10
稳定性
<2%
标准偏差
激光管寿命
50
亿脉冲
光束尺寸,
mm 3X 6
发散角
mRad
全角
1 X 2
冷却
空气
/
水冷
定时抖动
2ns
标准偏差
重量
15kg 250/500Hz
,
35kg 1000/2000Hz
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