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小型工业准分子激光器
  • 小型工业准分子激光器EX5A和EX5AR具有50亿脉冲的较长激光器寿命-孚光精仪

小型工业准分子激光器

小型工业准分子激光器EX5A和EX5AR(加固型)在微型准分子激光器基础上提高激光性能,激光器寿命大大延长,激光能量输出和平均功率也高于标准的准分子激光器。非常适合需要高占空比和***少维护的激光应用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽8~10ns,重复频率250Hz/500HZ/1000HZ/2000Hz,248nm激光功率高达8W,193nm激光功率高达4W。
型号:
FPGAM-EX5A
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-2279 9028 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-**的进口激光精密科学仪器服务商欢迎您!

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小型工业准分子激光器EX5AEX5AR(加固型)在微型准分子激光器基础上提高激光性能,激光器寿命大大延长,激光能量输出和平均功率也高于标准的准分子激光器非常适合需要高占空比和***少维护的激光应用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽8~10ns,重复频率250Hz/500HZ/1000HZ/2000Hz,248nm激光功率高达8W,193nm激光功率高达4W。
小型工业准分子激光器EX5A/AR规格
工作物质                           F2              ArF     KrF     XeCl     XeF
波长nm                             157           193     248     308     351
***大能量mJ                     1.5/2.5*   14       20       12       8
峰值功率MW                   0.30        2.0      2.5     1.25     0.8
平均功率W@250Hz     0.3/0.4     3.0      5.0      2.5     1.4
平均功率W@500Hz      0.5            6.0       8.0     4.0     2.5
平均功率W@1000Hz    1.0             9         14     6.0      5.0
***大能量mJ @2000Hz                    0.7       0.9
平均功率W@2000Hz                     1.0    1.4
动态气体寿命@50%能量   10E6    12E6    18E6    20E6    15E6
50%能量保存期               10    15   30   >2个月   30
脉宽ns                                             8-10
稳定性                           <2%标准偏差
激光管寿命                          50亿脉冲
光束尺寸,mm                         3X 6
发散角mRad全角                    1 X 2
冷却                                                      空气/水冷
定时抖动                           2ns标准偏差
重量                     15kg 250/500Hz35kg 1000/2000Hz
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