小型工业准分子激光器

小型工业准分子激光器EX5A和EX5AR（加固型）在微型准分子激光器基础上提高激光性能,激光器寿命大大延长，激光能量输出和平均功率也高于标准的准分子激光器。非常适合需要高占空比和最少维护的激光应用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽8~10ns,重复频率250Hz/500HZ/1000HZ/2000Hz,248nm激光功率高达8W，193nm激光功率高达4W。

型号：

FPGAM-EX5A

品牌：

价格：

￥0.00

类别：

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商品详情

小型工业准分子激光器EX5A和EX5AR（加固型）在微型准分子激光器基础上提高激光性能,激光器寿命大大延长，激光能量输出和平均功率也高于标准的准分子激光器。非常适合需要高占空比和最少维护的激光应用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽8~10ns,重复频率250Hz/500HZ/1000HZ/2000Hz,248nm激光功率高达8W，193nm激光功率高达4W。
小型工业准分子激光器EX5A/AR规格
工作物质 F2 ArF     KrF     XeCl     XeF
波长nm 157 193     248     308     351
最大能量mJ 1.5/2.5*   14 20 12      8
峰值功率MW 0.30 2.0      2.5    1.25     0.8
平均功率W@250Hz 0.3/0.4 3.0      5.0     2.5    1.4
平均功率W@500Hz 0.5 6.0       8.0    4.0     2.5
平均功率W@1000Hz 1.0 9         14    6.0      5.0
最大能量mJ @2000Hz 0.7 0.9
平均功率W@2000Hz 1.0   1.4
动态气体寿命@50%能量 10E6    12E6   18E6    20E6   15E6
50%能量保存期 10天    15天   30天   >2个月   30天
脉宽ns 8-10
稳定性                           <2%标准偏差
激光管寿命 50亿脉冲
光束尺寸，mm                         3X 6
发散角mRad全角 1 X 2
冷却   空气/水冷
定时抖动                           2ns标准偏差
重量                     15kg 250/500Hz，35kg 1000/2000Hz
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