窄线宽准分子激光器

窄线宽准分子激光器是zhuanye为光谱学应用设计的窄光谱带宽准分子激光器,feichang适合光刻,激光计量,荧光光谱,拉曼光谱,FBG等应用。
窄线宽准分子激光器采用稳定的非选择性谐振腔提供纯净光谱输出,例如ArF准分子激光器的带宽约500pm,我们还可以在谐振腔内插入波长色散元件提供*窄线宽的表现，比如光谱线宽可到0.08pm,具有**的相干性能。
窄线宽准分子激光器EX50LN采用超级INVAR稳定谐振腔技术获得稳定的激光性能,248nm激光的相干长度可达7cm，并且具有良*的指向稳定性,feichang适合长相干长度的激光激光应用，比如FBG制造.
这款窄线宽准分子激光器采用一系列创新性技术,包括电晕预电离技术，全金属/陶瓷设计，提供超长静态气体寿命和动态气体寿命。这款准分子激光器还采用内置真空泵和卤素过滤器,不需要额外的真空器件即可*立工作,
窄线宽准分子激光器可以通过计算机配套软件控制,软件可自动控制稳定激光输出，可提示用户激光器寿命和维护时间。
窄线宽准分子激光器规格参数EX50LN Specifications

工作物质	F2	ArF	KrF	XeCl	XeF
中心波长 nm	157	193.3	248.35	308-311	351, 533
***大能量mJ. <1pm		2	4	2	2
***大能量mJ. <0.35pm	1 Line	0.75	2
波长调谐范围 pm		+/- 200	+/-200	N/A
平均功率@125Hz		0.30	.25	0.3	0.3
平均功率 @250Hz		0.5/1	.5/1	0.50	0.5
平均功率@500Hz		1/2	1/2	1.0
功率稳定性 %	Call	<3%
动态气体寿命 （50%脉冲能量）	10E6	12E6	15E6	20E6	15E6
静态气体寿命 （50%脉冲能量）	10 days	20 days	30 days	90 Days	30 Days
脉宽, ns	14-18
光束直径, mm	9 X 4
发散角, mRad （全角）	0.8 X 1.6
激光管寿命	2-3 Billion Pulses
窗口寿命	200E6	>500E6	>500E6
制冷	空气/水

其它窄线宽准分子激光器 EX5ALN Specifications

工作物质	ArF	KrF
激光波长, nm	193	248
***大能量, mJ	5	15
线宽 pm	25	20
光束形状	高斯光束
波长调谐	+/-200pm	+/-200pm
平均功率W @ 25Hz	0.1	0.3
平均功率W @ 250Hz	1.0	2.5
***大重复频率. Hz	25/250
稳定性	<3% 1 Sigma
静态气体寿命 50%能量	3 days	10 days
脉宽 nS	8
稳定性	<3% One Sigma
激光管寿命	1000 Million Pulses
光束尺寸, mm	3X 6
发散角（全角）, mRad	1 X 2
制冷	AIR
抖动	2nS
重量	16kg

其它窄线宽准分子激光器 EX10AR Specifications

工作物质	ArF	KrF
波长, nm	193nm	248nm
***大能量., mJ	20mJ	26mJ
线宽, pm	<20pm	<20pm
光束形状	高斯光束
波长调谐范围	+/-200pm	+/-200pm
平均功率W@ 25Hz	0.1	0.3
平均功率W @ 250Hz	1.0	2.5
重复频率 Hz	25/250
稳定性	<3% 1 Sigma
静态气体寿命50%能量	3 days	10 days
脉宽 nS	8
稳定性	<3% One Sigma
激光管寿命	1000 Million Pulses
光束尺寸, mm	3X 6
发散角（全角）, mRad	1 X 2
制冷	空气
时间抖动	2nS One Sigma
重量	16kg