紫外准分子激光器

这款紫外准分子激光器是中功率准分子紫外激光器,适合脉冲激光沉积,调谐激光泵浦,脉冲激光电离,半导体激光处理,紫外激光微纳加工等应用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽17~20ns,重复频率250Hz/500HZ/750HZ,248nm激光功率高达20W，193nm激光功率高达10W。

型号：

FPGAM-EX50

品牌：

价格：

￥0.00

类别：

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商品详情

这款紫外准分子激光器是中功率准分子紫外激光器,适合脉冲激光沉积,调谐激光泵浦,脉冲激光电离,半导体激光处理,紫外激光微纳加工等应用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽17~20ns,重复频率250Hz/500HZ/750HZ,248nm激光功率高达20W，193nm激光功率高达10W。
紫外准分子激光器特征
•大功率准分子激光器
•2ns低触发抖动
•极好的脉间稳定性
•气体寿命长
•长寿命光学
•电晕预电离
•车载真空泵
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紫外准分子激光器应用
•替代医用激光器
•脉冲激光电离源
•微纳激光加工
•精密标记
•屈光手术
•拉曼光谱
紫外准分子激光器EX50规格
工作物质 F2     ArF        KrF XeCl XeF
波长nm 157     193 248 308 351
最大能量mJ 2.5    35        50         22         20
平均功率W@250Hz 0.5 5         10          5          5
平均功率W@500Hz 1 10       20         10        10
动态气体脉冲寿命50%能量 15E6      25E6    35E6     30E6      30E6
静态寿命50%能量   15天 90天 120天   >1年    120天
重复频率 250/500/750Hz
脉宽 17-20ns
光斑尺寸                         9 x 4 mm        V x H
稳定性                        <2%标准偏差
发散角 0.8 x 1.6 mRad    V x H
冷却                       空气250，500 Hz/水1000 Hz
激光管寿命 >30亿脉冲
电源                       120 VAC, 5 Amp, 600 W
重量                              48kg