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紫外准分子激光器
  • 紫外准分子激光器EX50是GAMLASER中功率准分子紫外激光器-孚光精仪

紫外准分子激光器

这款紫外准分子激光器是中功率准分子紫外激光器,适合脉冲激光沉积,调谐激光泵浦,脉冲激光电离,半导体激光处理,紫外激光微纳加工等应用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽17~20ns,重复频率250Hz/500HZ/750HZ,248nm激光功率高达20W,193nm激光功率高达10W。
型号:
FPGAM-EX50
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-51300728 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-领先的进口精密仪器服务商欢迎您!

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  • 商品详情
这款紫外准分子激光器是中功率准分子紫外激光器,适合脉冲激光沉积,调谐激光泵浦,脉冲激光电离,半导体激光处理,紫外激光微纳加工等应用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽17~20ns,重复频率250Hz/500HZ/750HZ,248nm激光功率高达20W,193nm激光功率高达10W。
紫外准分子激光器特征
•大功率准分子激光器
2ns低触发抖动
•极好的脉间稳定性
•气体寿命长
•长寿命光学
•电晕预电离
•车载真空泵
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紫外准分子激光器应用
•替代医用激光器
•脉冲激光电离源
•微纳激光加工
•精密标记
•屈光手术
•拉曼光谱
紫外准分子激光器EX50规格
工作物质                         F2     ArF        KrF       XeCl     XeF
波长nm                          157     193     248      308     351
最大能量mJ                   2.5     35        50         22         20
平均功率W@250Hz     0.5     5         10          5          5
平均功率W@500Hz     1       10        20         10         10

动态气体脉冲寿命50%能量    15E6      25E6    35E6     30E6      30E6
静态寿命50%能量   15     90  120   >1    120
重复频率                        250/500/750Hz
脉宽                        17-20ns
光斑尺寸                         9 x 4 mm         V x H
稳定性                        <2%标准偏差
发散角                            0.8 x 1.6 mRad    V x H
冷却                       空气250500 Hz/1000 Hz
激光管寿命                       >30亿脉冲
电源                       120 VAC, 5 Amp, 600 W
重量                              48kg

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