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紫外准分子激光器
这款紫外准分子激光器是中功率准分子紫外激光器,适合脉冲激光沉积,调谐激光泵浦,脉冲激光电离,半导体激光处理,紫外激光微纳加工等应用。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽17~20ns,重复频率250Hz/500HZ/750HZ,248nm激光功率高达20W,193nm激光功率高达10W。
型号:
FPGAM-EX50
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
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193nm准分子激光器
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商品详情
这款
紫外准分子激光器
是中功率
准分子紫外激光器
,适合
脉冲激光沉积,
调谐激光泵浦,
脉冲激光电离,
半导体激光处理,紫外激光微纳加工等应用。
可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽17~20ns,重复频率250Hz/500HZ/750HZ,248nm激光功率高达20W,193nm激光功率高达10W。
紫外准分子激光器
特征
•大功率准分子激光器
•
2ns
低触发抖动
•极好的脉间稳定性
•气体寿命长
•长寿命光学
•电晕预电离
•车载真空泵
紫外准分子激光器
应用
•替代医用激光器
•脉冲激光电离源
•微纳激光加工
•精密标记
•屈光手术
•拉曼光谱
紫外准分子激光器
EX50
规格
工作物质
F2 ArF KrF XeCl XeF
波长
nm 157 193 248 308 351
最大能量
mJ 2.5 35 50 22 20
平均功率
W@250Hz 0.5 5 10 5 5
平均功率
W@500Hz 1 10 20 10 10
动态气体脉冲寿命50%能量
15E6 25E6 35E6 30E6 30E6
静态寿命50%
能量
15
天
90
天
120
天
>1
年
120
天
重复频率
250/500/750Hz
脉宽
17-20ns
光斑尺寸
9 x 4 mm V x H
稳定性
<2%
标准偏差
发散角
0.8 x 1.6 mRad V x H
冷却
空气
250
,
500 Hz/
水
1000 Hz
激光管寿命
>30
亿脉冲
电源
120 VAC, 5 Amp, 600 W
重量
48kg
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