光刻准分子激光器

这款光刻准分子激光器是zhuanye为半导体工艺和微电子激光处理设计的高性能准分子激光器,适合超净间使用,满足掩膜版检测,紫外光刻,半导体处理,激光测量等应用要求。光刻准分子激光器采用***新的全金属/陶瓷技术,从而获得***长的激光寿命,不需要频繁维护,全面满足微电子和半导体工业超净间应用要求。

型号：

FPGAM-ex10se

品牌：

价格：

￥0.00

类别：

在线垂询

在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-2279 9028 您也可网站留言或在线客服留言垂询，孚光精仪-**的进口激光精密科学仪器服务商欢迎您！

销售排行榜

暂无信息

浏览历史

清空

商品详情

这款光刻准分子激光器是zhuanye为半导体工艺和微电子激光处理设计的高性能深紫外准分子激光器,适合超净间使用,满足掩膜版检测,紫外光刻,半导体处理,激光测量等应用要求。
光刻准分子激光器采用***新的全金属/陶瓷技术,从而获得***长的激光寿命,不需要频繁维护,全面满足微电子和半导体工业超净间应用要求。
光刻准分子激光器*点
激光寿命高达100亿次脉冲
激光稳定性高达1%
193nm单次ArF气体注入可产生20亿次激光脉宽
阳离子处理工艺适合超净间使用
满足SEMI S2标准
光刻准分子激光器 EX10SE规格参数（其它规格参数可提供）

工作物质	F2	ArF	KrF	XeCl	XeF
波长 nm	157	193	248	308	351
***大能量. mJ	3	20	35	15	15
能量范围 mJ	1-3	5-20	10-35	7-15	7-15
***大稳定能量200Hz	2.5	15	30	15	12
***大平均功率W @300/600Hz	0.6/1.2	4/7	6/12	3/6	3/6
稳定性标准偏移	< 1% at max. repetition rate
重复频率, Hz	300/600/1000
动态气体寿命	200E6	200E6	500E6	100E6	300E6
静态气体寿命@ 50% 能量	15 days	60 days	90 days	>1 Year	90 days
脉宽, ns	12-15
光束大小, mm	5X 3	8 X 3
光束发散角（全角）, mRad	1 X 2
制冷	空气
光学窗口服务间隔	500E6	300E6	1000E6	100E6	300E6