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高功率准分子激光器
  • 高功率准分子激光器ex100提供157nm_193nm_248nm波长-孚光精仪

高功率准分子激光器

这款高功率准分子激光器是按照工业标准打造的工艺级准分子激光器,具有良好的激光稳定性和激光寿命。可提供157nm波长,248nm激光功率高达68W,193nm激光功率高达32W。准分子激光器的动态气体寿命和静态气体寿命高达30亿次脉冲.可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽15~22ns,重复频率60Hz/125Hz/250Hz/500HZ,248nm激光功率高达68W,193nm激光功率高达32W。
型号:
FPGAM-EX100
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-51300728 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-领先的进口精密仪器服务商欢迎您!

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  • 商品详情
这款高功率准分子激光器是按照工业标准打造的工艺级准分子激光器,具有良好的激光稳定性和激光寿命。可提供157nm波长,248nm激光功率高达68W,193nm激光功率高达32W。准分子激光器的动态气体寿命和静态气体寿命高达30亿次脉冲.可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽15~22ns,重复频率60Hz/125Hz/250Hz/500HZ,248nm激光功率高达68W,193nm激光功率高达32W。
高功率准分子激光器特征

•高功率准分子激光器
2ns低触发抖动
•极好的脉间稳定性
•气体寿命长
•长寿命光学
•电晕预电离技术
•陶瓷/金属激光管封装技术
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高功率准分子激光器应用
•替代医用激光器
•脉冲激光电离激发
•准分子激光微加工
•精密标记
•屈光手术
•拉曼光谱
高功率准分子激光器规格
参数                                   F2      ArF       KrF      XeCl     XeF
波长nm                          157     193       248       308     351
最大能量mj                    10      75        125          65     60
平均功率W@125Hz    1           8         12           6.5     6
平均功率W@250Hz    2          16         24          13    10
动态气体寿命             10E7    15E6    20E6   20E6    20E6
静态气体寿命              15  60      90    >6个月   90
(50%脉冲能)
重复频率                          60/125/250/500 Hz
脉宽                        15-22ns
光束尺寸               10 x 5 mm        V x H
稳定性                      <2%标准偏差
发散角                      0.8 x 1.5 mRad全角度
冷却                          空气/
激光管寿命                20亿脉冲
电源                    100-240 VAC, 15 Amp

 

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