高功率准分子激光器
这款高功率准分子激光器是按照工业标准打造的工艺级准分子激光器,具有良*的激光稳定性和激光寿命。可提供157nm波长,248nm激光功率高达68W,193nm激光功率高达32W。准分子激光器的动态气体寿命和静态气体寿命高达30亿次脉冲.可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽15~22ns,重复频率60Hz/125Hz/250Hz/500HZ,248nm激光功率高达68W,193nm激光功率高达32W。