压电旋转定位台SR-1908是采用压电旋转台技术的压电旋转定位器,采用压电电机驱动可实现360度无限旋转。
压电旋转定位台SR-1908集成光学编码器确保***高闭环定位分辨率（低于1μrad）和***高重复精度（高达5μrad）。
我们为用户提供几种标准压电旋转定位台方便用户选择,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有压电旋转定位台都可以根据用户需求定制.
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压电旋转定位台规格参数
| 型号 |
SR-1908 |
SR-2013 |
SR-2812 |
| 口径 |
7mm |
- |
9mm |
| S闭环传感器分辨率 |
- |
25 μ° |
25 μ° |
| 角度分辨率 |
< 300 μ° |
<2 μ° |
<1 μ° |
| 定位台尺寸 |
24.7 x 20 x 8.5 mm3 |
25.5 x 20 x 10.2 mm3 |
37.5 x 30 x 12 mm3 |
| 负载 |
5N(500g) |
3N(300g) |
3N(300g) |
| 适合***大真空度 |
10-6 mbar |
10-11 mbar |
10-11 mbar |
| 角速度 |
45度/秒 |
45度/秒 |
25度/秒 |
| 步进 |
0.3 – 3.0 m° |
0.3 – 3.0 m° |
0.3 – 3.0 m° |
| ***大频率 |
18.5KHZ |
18.5KHZ |
18.5KHZ |
| 阻尼力Mb |
0.5N cm |
0.5N cm |
3N.cm |
| ***大正向力Fn |
5N |
3N |
3N |
| 旋转台尺寸 |
Ø 19 mm |
Ø 15 mm |
Ø 28 mm |
| 重量 |
13g |
11g |
35g |
压电旋转定位台SR-1908材料和真空选项
钢底座（-ST）
硬端止动块，样品短管支架
-真空（10-6m Bar）
压电旋转定位台应用案例
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压电旋转定位台搭建的3D晶圆定位系统（4英寸晶圆）
