真空电控位移台是为真空环境设计的
真空电控位移平台和
电控真空位移台,广泛用于真空环境的
电控位移定位操作应用。
真空电控位移台采用真空兼容步进电机。使用M6螺钉,可搭建成 二维XY
真空电控位移台系统。采用角架2AB175V,还可搭建XZ二维垂直
位移台系统和XYZ三维真空电控
位移台系统,还可以采用光学底板3UBP175V直接安装到光学平台上。
真空电控位移台配套高度真空兼容Sub-D接口连接器,具有9或15针连接器。连接器是玻璃制成,里面填充的是聚合物,外壳是不锈钢,适用于真空度高达10^-6毫巴和温度高达110°C的环境。
真空电控位移台特点
窄型型材设计节省安装空间
超级紧凑设计方便安装使用
分辨率高达 0.31µm (1/8步模式)
导轨精度高
丝杆螺距是0.5mm
可以搭建成XYZ三维
真空电控位移台系统
XYZ三维真空电控位移台系统装置
高度真空Sub-D连接器的规格:
真空:10^-6毫巴
主体材料:DEP
温度范围:- 55°C至110°C
针材质:镀金铜合金
提供其他大小的连接器和真空密封装置。
真空电控位移台产品规格
丝杠螺距 0.5mm
全步进分辨率 2.5µm
***大速度 5mm/s
载重量
水平 8kg
立式 3kg
真空
度 10^-6Torr
电机连接器 DB9(M)
步进电机 VSS42
装配成多维
位移台的配件
X-Y 直接
Z 2AB175V
平面 3BP175V
速动限位开关 双端开关
类型 推动“关闭”