电动真空位移台采用了适合
真空度高达10^-6Torr的
真空步进电机,所有的机械部件都使用高度真空兼容润滑脂润滑,是高精度电动
真空位移平台,电动真空台。
电动真空位移台充分考虑真空工艺处理,铝零件没有进行过阳极氧化处理,
电动真空位移台在装运发送之前在真空室中进行清洗和包装,用户购买后可立即置入真空环境中不会破坏真空环境。
电动真空位移台产品规格
型号 |
8MT173V-10 |
8MT173V-20 |
8MT173V-25 |
8MT173V-30 |
行程距离 |
10mm |
20mm |
25mm |
30mm |
螺距 |
0.25mm |
整步分辨率 |
1.25µm |
***大速度* |
2.5mm/s |
负载能力 |
水平负载 |
3kg |
垂直负载 |
1kg |
真空兼容电缆 |
集成2米长 |
电机接口 |
HDB15(M) |
电机 |
VSS42 |
重量 |
0.42kg |
0.48kg |
0.49kg |
0.5kg |
搭建成多轴位移台所需配件 |
X-Y轴 |
2CP173V-20 |
Z |
2AB173V-20 |
建议控制器 |
8SMC5-USB |
电动真空位移台配备有高度真空兼容的Sub-D接口连接器,9或15针连接器,连接器是玻璃制成,里面填充的是聚合物,外壳是不锈钢,适用于高度真空10^-6毫巴和温度高达110°C的环境。
高度真空Sub-D连接器的规格:
真空:10^-6毫巴
主体材料:DEP
温度范围:- 55°C至110°C
针材质:镀金铜合金
提供其他尺寸大小的连接器和真空密封装置。