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高速共焦激光扫描显微镜
  • 高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)适合微纳结构的台阶高度测量_宽度测量_长度测量-孚光精仪

高速共焦激光扫描显微镜

这款高速共焦激光扫描显微镜(CLSM),用于精确可靠的三维(3D)测量。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现了实时共焦显微图像,广泛用于微纳尺度的台阶高度测量,宽度测量,长度测量等。广泛用于半导体晶片、平板产品、MEMS器件、玻璃基板、材料表面等微观三维结构的测量和检测。
型号:
FPNAN-NS-3500
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
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这款高速共焦激光扫描显微镜(CLSM),用于精确可靠的三维(3D)测量。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现了实时共焦显微图像,广泛用于微纳尺度的台阶高度测量,宽度测量,长度测量等。广泛用于半导体晶片、平板产品、MEMS器件、玻璃基板、材料表面等微观三维结构的测量和检测。
高速共焦激光扫描显微镜特点
 -高分辨率无损光学三维测量
-实时共焦成像
-各种光学变焦
-同时亮场和共焦成像
-具有精细自动聚焦的自动增益搜索
-倾斜补偿
-简易分析模式
-精密可靠的高速测高
-通过半透明基板检查特征
-无样品制备
-宽范围检测的图像拼接
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高速共焦激光扫描显微镜应用
 这款共焦显微镜可以测量微纳结构的高度,宽度,角度,面积,体积,比如·
半导体领域:IC图案、凸起高度、线环高度,缺陷检查,CMP工艺
FPD产品:触摸屏检查,ITO图案,LCD列间隔高度
MEMS设备–结构的三维轮廓,表面粗糙度,MEMS图形
玻璃表面-薄膜太阳能电池,太阳能电池纹理,激光图形
材料研究-工装表面检查,糙度、裂纹分析
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高速共焦激光扫描显微镜规格参数

规格 显微镜 NS-3500 Remark
控制器 NS-3500E
物镜倍数 10× 20× 50× 100× 150×  
观察 /测量范围 水平 (H): μm 1400 700 280 140 93
竖直 (V): μm 1050 525 210 105 70
工作距离: mm 16.5 3.1 0.54 0.3 0.2
竖直孔径 (N.A.) 0.30 0.46 0.80 0.95 0.95
光学放大 ×1 ~ ×6  
总放大 178× ~ 26700×  
观察/测量的光学系统 小孔Pinhole共聚焦光学系统  
高度测量(台阶模式) 测量扫描范围 Fine scan : 100 μm (and/or) Long scan : 7 mm [NS-3800-L] Note 1
Fine scan : 400 μm (and/or) Long scan : 10 mm [NS-3800-D
Fine scan : 200 μm (or) Long scan : 10 mm [NS-3800-T]
显示分辨率 0.001 μm  
重复精度 σ 0.010 μm Note 2
宽度测量 显示分辨率 0.001 μm  
重复精度3σ 0.02 μm Note 3
帧内存 像素计数 1024×768, 1024×384, 1024×192, 1024×96  
共聚焦图像图像 12 bit  
彩色图像 8-bit for RGB each  
高度测量 16 bit  
帧频 表面扫描 20 Hz to 160 Hz  
线扫描 ~8 kHz  
自动功能 自动聚焦  
光束光源 波长 Violet laser, 405 nm  
输出 ~2 mW  
激光光源 Class 3b  
激光探测器 PMT (photomultiplier tube)  
数据处理 Dedicated PC  
供电要求 供电要求 100 to 240 VAC, 50/60 Hz  
电流消耗 500 VA max.  
重量 显微镜 Approx. ~ 8 kg  
控制器 ~8 kg  
  • Note 1 :

    Fine scan is performed by piezoelectric actuator (PZT).
    Dual scan mode by fine and long scanner is available only for single lens type.

  • Note 2 :

    100 times measurement of standard sample (1μm step height) with 100× / 0.95 objective.

  • Note 3 :

    100 times measurement of standard sample (5μm pitch) with 100× / 0.95 objective.

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