电动三维位移台

电控三维位移台3D/4D-stage是专业为激光光学安装固定设计的电控XYZ位移台,并且可在三轴位移台基础上加上旋转台组成四轴位移台功能。
电控三维位移台采用三个电控直线线性位移台组成,可以增选一个电控旋转台用于θ轴旋转。三维位移台组成XYZ维的位移,可提供行程距离有25mm、100mm或200mm,每个轴可以独立选择。

图1：电控三维位移台实物图3D-stage
三个XYZ三维线性位移台采用闭环直流伺服电机,交叉滚筒轴承,高精度丝杆和高分辨率定位反馈编码器控制,从而保证了位移台平滑和精确的运动。与其它工作台一样，这些电控三维位移台可以极慢的速度均匀移动，电控三维位移台提供各种速度/精度选项,也可订制3D/4D位移台系统,通常通过一个适配板把各个位移台组装在一起。
电控三维位移台可以使用各种各样的控制器，这些控制器和工作台可以相互兼容,推荐使用自由的MS2000位移控制器，可自动纠偏，并可通过RS-232或USB连接与上机位进行通讯。
电控三维位移台参数

技术参数	尺寸
编码器分辨率*	5.5 nm
线性编码器	10 nm
RMS重复精度（典型）	< 0.7 μm
采用线性编码器重复精度（典型）	200 nm
丝杆精度	0.25 μm/mm
采用线性编码器后的丝杠精度	± 3 μm/length scale
***大速度*	1.75 mm/sec
行程范围	25~100mm

*注：采用1.59 mm螺距的丝杠（16TPL）
电控三维位移台丝杠附件

丝杆螺距选择	旋转编码器分辨率	***大速度
25.40 mm (极粗)	88 nm	28 mm/sec
12.70 mm (超粗)	44 nm	14mm/sec
6.35 mm   (标准)	22 nm	7 mm/sec
1.59 mm   (细)	5.5 nm	1.75mm/sec
0.635 mm (极细)	2.2 nm	0.7mm/sec

注：采用旋转编码器和6.35毫米螺距丝杆

图2：电动四维位移台4D-stage俯视图（由XYZ三维位移台+旋转台构成）