这款电控线性平移台LS系列是专业为亚微米精度定位应用设计的电动线性平移台。采用闭环直流伺服电机和高分辨率旋转编码器实现高精度定位反馈和控制,也可选择线性编码器获得更高的定位精度。
这款电控线性平移台采用交叉滚筒伺服
位移台,精密丝杆和零空回反冲微型齿轮直流伺服马达保证了运动平稳准确。
这款电控线性平移台提供行程范围从50mm到300mm,它们可以单独使用也可以堆叠成多维多轴
位移台系统,可以水平使用也可竖直使用,承重高达载4.5kg。
这款电控线性平移台具有内置的限位开关,可以配置如下表所示的几种丝杆选项。在标准的旋转编码器配置和使用ASI的MS-2000控制器,分辨率在50~100nm.RMS重复精度可到300nm。
这款电控线性平移台可选的线性编码器尺度分辨率为10nm,沿长度的精度可到±3μm。采用MS-2000系列平移台控制器提供自动化空回反冲校正,接受工业标准命令,与主机之间可采用RS-232或USB通信机。
这款电控线性平移台技术参数
技术参数 |
LS-25 |
LS-50 |
LS-100 |
LS-200 |
|
编码器分辨率 |
5.0 nm |
5.5 nm |
5.5 nm |
5.5 nm |
|
采用线性编码器 |
10 nm |
10 nm |
10 nm |
10 nm |
|
RMS重复精度(典型) |
< 0.7 μm |
< 0.7 μm |
< 0.7 μm |
< 0.7 μm |
|
采用线性编码器的精度(典型) |
200 nm |
200 nm |
200 nm |
200 nm |
|
丝杆精度 |
0.25 μm/mm |
0.25 μm/mm |
0.25 μm/mm |
0.25 μm/mm |
|
采用线性编码器的丝杠精度 |
± 3 μm/length scale |
± 3 μm/length scale |
± 3 μm/length scale |
± 3 μm/length scale |
|
最大速度 |
1.60 mm/sec |
1.75 mm/sec |
1.75 mm/sec |
1.75 mm/sec |
|
行程范围 |
25 mm (1”) |
50 mm (2”) |
100 mm (4”) |
200 mm (8”) |
|
长度 |
86 mm (3.4”) |
152.5 mm (6”) |
203.5 mm (8”) |
305 mm (12”) |
|
与连接器 |
137 mm (5.4”) |
233 mm (9.2”) |
286 mm (11.3”) |
369 mm (14.5”) |
|
与RA连接器 |
—– |
195 mm (7.6”) |
247 mm (9.7”) |
380 mm (15”) |
|
宽度 |
68.5 mm (2.7”) |
68.5 mm (2.7”) |
68.5 mm (2.7”) |
68.5 mm (2.7”) |
|
与连接器 |
120 mm (4.7”) |
132.5 mm (5.2”) |
132.5 mm (5.2”) |
132.5 mm (5.2”) |
|
与RA连接器 |
—– |
93.5 mm (3.7”) |
93.5 mm (3.7”) |
93.5 mm (3.7”) |
|
高度 |
35.5 mm (1.4”) |
30 mm (1.2”) |
30 mm (1.2”) |
30 mm (1.2”) |
|
重量 |
.5 kg (1 lbs) |
1.4 kg (3 lbs) |
1.9 kg (4 lbs) |
2.4 kg (6 lbs) |
|
注明:
1.1.59mm 螺距(16TPI)丝杆;
2.可根据不同的插头尺寸而定;
3.具有高速电机/齿轮头配置。
这款电控线性平移台丝杆附件
丝杆选择 |
旋转编码器 |
最大速度 |
25.40 mm (Ultra-coarse) |
88 nm |
28 mm/sec |
12.70 mm (Super-coarse) |
44 nm |
14 mm/sec |
6.35 mm (Standard) |
22 nm |
7 mm/sec |
1.59 mm (Fine) |
5.5 nm |
1.75 mm/sec |
0.635 mm (Extra-fine) |
2.2 nm |
0.7 mm/sec |
注:采用旋转编码器和6.35mm螺距丝杆