当前位置: 首页  >> 产品展示  >> 光学测量系列  >> 探针台  >> 半自动探针台  >> 查看详情
半自动探针台
  • 半自动探针台sps-2800广泛用作电动分析探针台和半自动晶圆探针台-孚光精仪

半自动探针台

这款半自动探针台广泛用作电动分析探针台和半自动晶圆探针台,可测试200mm晶圆,采用重型多功能探针台平台制造,配置灵活多样,具有加热制冷晶圆夹盘chuck,体式显微镜,RF屏蔽箱等诸多配件可选择,适合半导体器件探针台测试和晶圆探针台测试等多种应用。
型号:
FPMIC-SPS-2800
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-51300728 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-领先的进口精密仪器服务商欢迎您!

销售排行榜

    暂无信息

推荐

浏览历史

  • 商品详情
这款半自动探针台广泛用作电动分析探针台和半自动晶圆探针台,可测试200mm晶圆,采用重型多功能探针台平台制造,配置灵活多样,具有加热制冷晶圆夹盘chuck,体式显微镜,RF屏蔽箱等诸多配件可选择,适合半导体器件探针台测试和晶圆探针台测试等多种应用。
半自动探针台特色
电动XY样品夹盘,步进电机高精度控制,电控Z轴运动,可选配Theta角控制选项
适合低于0℃的测试应用或者屏蔽RF的应用

电动样品台,行程范围200mm x 200mm
加载或卸载晶圆非常方便
精密电控XYZ样品位移台和电控台板
可升级到半自动探针控制功能(选配)
光滑的磁铁台板可支撑高达10个磁性或真空定位器
高质量体式放大显微镜,工作距离高达200mm, LED照明,放大倍数3.5X~180X
适合连接微定位器,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF链接接头
标准的XYZ三维位移台显微镜
可提供RF探针,RF卡盘,RF隔离箱等附件
$title
半自动探针台规格参数
适合晶圆大小:200mm
电动XY位移台: 行程范围200mm x 200mm, 分辨率1.5um
电动Z轴台:  行程12.5mm 或25mm可选, 分辨率高达400nm
Theta台: 电控或手动控制可选, 分辨率可达0.01度
台板:固定
台板平面度:<+/-12.7um @150mm长度
台板刚度: <50um @4.5kg
样品夹盘规格
真空:多区真空
平面度:+/-13um
(可根据客户应用要求,提供各种样品夹盘)
显微镜:高质量体式放大显微镜,工作距离高达200mm, 放大倍数范围3.5X~180X
电学接头:BNC, Triax, RF, Banana插头
安装要求:真空度<600Torr, CDA:60psi(仅适用于启动XY升级位移台)
整体尺寸: W78cm xD80cm x H58cm
净重:85kg ~95kg (根据所选不同配件)

相关商品

    暂无信息
多 快 好 省
新手上路
顾客必读会员等级折扣商品退货保障
购物指南
购物流程会员介绍常见问题联系客服
配送方式
上门自提211限时达配送服务查询配送费收取标准海外配送
支付方式
货到付款在线支付邮局汇款公司转账
售后服务
售后政策价格保障退款说明返修/退换货

在线客服系统