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半自动晶圆探针台
  • 半自动晶圆探针台sps-2600广泛用作MICROXACT分析探针台和RF探针台

半自动晶圆探针台

这款半自动晶圆探针台广泛用作分析探针台和RF探针台,可测试100mm晶圆,性价比高,配置灵活多样,具有加热型晶圆夹盘chuck,体式显微镜,RF屏蔽箱等诸多配件可选择,适合实验室半导体器件探针台测试和晶圆探针台测试应用。
型号:
FPMIC-SPS-2600
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-51300728 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-领先的进口精密仪器服务商欢迎您!

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这款半自动晶圆探针台广泛用作分析探针台和RF探针台,可测试100mm晶圆,性价比高,配置灵活多样,具有加热型晶圆夹盘chuck,体式显微镜,RF屏蔽箱等诸多配件可选择,适合实验室半导体器件探针台测试和晶圆探针台测试应用。
半自动晶圆探针台特色
电动XY样品夹盘,步进电机高精度控制
适合低于0℃的测试应用或者屏蔽RF的应用

样品台,行程范围125mm x 125mm
加载或卸载晶圆非常方便
精密电控XY位移台和台板
光滑的磁铁台板可支撑高达10个磁性或真空定位器
高质量体式放大显微镜,工作距离高达200mm, LED照明,放大倍数3.5X~180X
适合连接微定位器,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF链接接头
标准的XYZ三维位移台显微镜
可提供RF探针,RF卡盘,RF隔离箱等附件
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半自动晶圆探针台规格参数
适合晶圆大小:100mm (125mm可选)
电动XY位移台: 行程范围125mm x 125mm, 分辨率1.5um
台板行程:12.7mm 或更大,
台板调整:带有粗调和微调功能,重复精度+/-1.5um
台板平面度:<+/-12.7um @150mm长度
台板刚度: <50um @4.5kg
样品夹盘规格
真空:多区真空
平面度:+/-13um
击穿电压:500V
隔离度:1G欧姆
调整:360度粗调, +/-6度微调
显微镜:高质量体式放大显微镜,工作距离高达200mm, 放大倍数范围3.5X~180X
电学接头:BNC, Triax, RF, Banana插头
安装要求:真空度<600Torr, CDA:60psi(仅适用于启动XY升级位移台)
整体尺寸: W78cm xD80cm x H58cm
净重:85kg ~95kg (根据所选不同配件)

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