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手动探针台
  • 手动探针台_microxact经济型探针台适合半导体器件测试-孚光精仪

手动探针台

这款手动探针台适合150mm尺寸晶圆测试,是经济型探针台但是具有昂贵探针台的良好参数性能,结构紧凑而方便使用,非常适合实验室半导体器件测试和电路测试应用。
型号:
FPMIC-SPS-1000
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-51300728 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-领先的进口精密仪器服务商欢迎您!

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这款手动探针台适合150mm尺寸晶圆测试,是经济型探针台但是具有昂贵探针台的良好参数性能,结构紧凑而方便使用,非常适合实验室半导体器件测试和电路测试应用。
手动探针台适合特色
手动操作样品台,行程范围100mm x 100mm 或150mm x 150mm可选
加载或卸载晶圆非常方便
传统的粗调和微调台板设计,范围12.7mm, 25mm或40mm可选
光滑的磁铁台板可支撑高达10个磁性或真空定位器
高质量体式放大显微镜,工作距离高达200mm, LED照明,放大倍数3.5X~180X
带有相机接口
两侧带有连接接口,适合连接微定位器,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF链接接头
标准的XYZ三维位移台显微镜
可提供RF探针,RF卡盘,RF隔离箱等
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手动探针台适合规格参数
适合晶圆大小:最高150mm (其它尺寸可提供)
XY位移台: 行程范围100mm x 100mm 或150mm x 150mm可选,分辨率3um
台板行程:12.7mm 或更大,
台板调整:带有粗调和微调功能,重复精度+/-1.5um
台板平面度:<+/-12.7um @150mm长度, 可选<+/-5um
台板刚度: <5um @4.5kg
样品卡盘规格
真空:3区真空
平面度:+/-13um  (可选+/-3um)
击穿电压:500V
隔离度:1G欧姆
调整:360度粗调, +/-6度微调
Z轴微调:10mm, 1um分辨率
显微镜:高质量体式放大显微镜,工作距离高达200mm, 放大倍数范围3.5X~180X
电学接头:BNC, Triax, RF, Banana插头
安装要求:真空度<600Torr, CDA:60psi(仅适用于启动XY升级位移台)

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