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单点少子寿命测量仪
  • 单点少子寿命测量仪系统mdpspot是晶圆寿命测量仪器-孚光精仪

单点少子寿命测量仪

单点少子寿命测量仪系统是经济型晶圆寿命测量仪器,对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。单点少子寿命测量仪可测量小于156mm厚度的晶锭,没有自动化配置,手工操作。可增配电阻率测试功能,适合硅,晶圆片和晶锭寿命测量。 
型号:
FPFRE-MDPspot
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-2279 9028 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-**的进口激光精密科学仪器服务商欢迎您!

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单点少子寿命测量仪系统是经济型晶圆寿命测量仪器,对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。单点少子寿命测量仪可测量小于156mm厚度的晶锭,没有自动化配置,手工操作。可增配电阻率测试功能,适合硅,晶圆片和晶锭寿命测量。 

单点少子寿命测量仪特点
无接触和非破坏的电学参数测试
对外延工艺监控和不可见缺陷检测,具有可视化测试的***高分辨率
对于不同级别晶圆片,提供不同的菜单选项
单点少子寿命测量仪*势
用于不同制备阶段,从成体到***终器件,多晶硅或单晶硅单点测量载流子寿命的台式装置。
体积小,成本低,使用方便。拥有一个基本的软件,结果可视化。
适用于晶圆片到晶锭,易于高度调整。
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单点少子寿命测量仪技术参数

样品 不同工艺处理样品,如钝化或扩散后的单晶或多晶硅晶圆、晶锭、电池等
样品尺寸 50 x 50 mm² 到12“ 或210 x 210 mm²
电阻率 0.2 - 10³ Ohm cm
材质 硅晶圆,晶锭,部分或全部加工晶圆,化合物半导体和其它类型 
少子寿命检测范围 20ns到几十ms
尺寸 360 x 360 x 520 mm,质量:16 kg
电源 110/220 V, 50/60 Hz, 3 A

 

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