当前位置: 首页  >> 产品展示  >> 光学测量系列  >> 晶圆测试仪器  >> 晶圆寿命测量仪  >> 查看详情
单点少子寿命测量仪
  • 单点少子寿命测量仪系统mdpspot是经济型晶圆寿命测量仪器-孚光精仪

单点少子寿命测量仪

单点少子寿命测量仪系统是经济型晶圆寿命测量仪器,对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。单点少子寿命测量仪可测量小于156mm厚度的晶锭,没有自动化配置,手工操作。可增配电阻率测试功能,适合硅,晶圆片和晶锭寿命测量。 
型号:
FPFRE-MDPspot
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-51300728 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-领先的进口精密仪器服务商欢迎您!

销售排行榜

    暂无信息

推荐

    暂无信息

浏览历史

  • 商品详情

单点少子寿命测量仪系统是经济型晶圆寿命测量仪器,对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。单点少子寿命测量仪可测量小于156mm厚度的晶锭,没有自动化配置,手工操作。可增配电阻率测试功能,适合硅,晶圆片和晶锭寿命测量。 

单点少子寿命测量仪特点
无接触和非破坏的电学参数测试
对外延工艺监控和不可见缺陷检测,具有可视化测试的最高分辨率
对于不同级别晶圆片,提供不同的菜单选项
单点少子寿命测量仪优势
用于不同制备阶段,从成体到最终器件,多晶硅或单晶硅单点测量载流子寿命的台式装置。
体积小,成本低,使用方便。拥有一个基本的软件,结果可视化。
适用于晶圆片到晶锭,易于高度调整。
$title
单点少子寿命测量仪技术参数

样品 不同工艺处理样品,如钝化或扩散后的单晶或多晶硅晶圆、晶锭、电池等
样品尺寸 50 x 50 mm² 到12“ 或210 x 210 mm²
电阻率 0.2 - 10³ Ohm cm
材质 硅晶圆,晶锭,部分或全部加工晶圆,化合物半导体和其它类型 
少子寿命检测范围 20ns到几十ms
尺寸 360 x 360 x 520 mm,质量:16 kg
电源 110/220 V, 50/60 Hz, 3 A

 

相关商品

    暂无信息
多 快 好 省
新手上路
顾客必读会员等级折扣商品退货保障
购物指南
购物流程会员介绍常见问题联系客服
配送方式
上门自提211限时达配送服务查询配送费收取标准海外配送
支付方式
货到付款在线支付邮局汇款公司转账
售后服务
售后政策价格保障退款说明返修/退换货

在线客服系统