科研级SEM电镜采用小型扫描电镜结构设计,适合高校等科研院所获得SEM图像,放大倍率为20-30000X,可在办公室使用。
科研级SEM电镜规格参数
光学系统参数
分辨率:3nm@20KV/30KV
放大倍率:10x~300,000x (数字变焦2X, 4X,8X)
加速电压:0.6kv~30kv
电子枪类型:钨丝
图像移动:250um (XY), 360度旋转
电子枪准直: 4级电磁类型 (可自动或者手动准直)
探测器类型: SE探测器
自动功能:自动电子枪准直,自动聚焦,自动对比度亮度,发射电流等
显示: 640x480(area 模式), 960x640, 1024x768, 2048x 1536(检查模式), 图片模式(2048x1536~8192x6144)
图像分析:Multi-Focusing/ Image Tiling/ 3D-View/Enhancement/ Color Transformation/ Filters/ Histogram, Point Measurement, Various Image Filter, AOI(Area-ofInterest) & etc.
位移台参数
XYZ位移范围:40,40,40mm
tilt倾斜:0-60度
旋转:360度
类型:手动5轴
位移台 (可选3轴电动
位移台)
选配真空系统
高真空模式:10^-5 Torr
可选配器件:EDS, BSE, TSEM, 3D reconstruction S/W等