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电动三维位移台
  • 电控三维位移台_电控XYZ位移台3D/4D-stage为激光光学安装固定设计-孚光精仪

电动三维位移台

电控三维位移台3D/4D-stage是专业为激光光学安装固定设计的电控XYZ位移台,并且可在三轴位移台基础上加上旋转台组成四轴位移台功能。电控三维位移台采用三个电控直线线性位移台组成,可以增选一个电控旋转台用于θ轴旋转。三维位移台组成XYZ维的位移,可提供行程距离有25mm、100mm或200mm,每个轴可以独立选择。
型号:
FPASI-3D/4D-stage
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-51300728 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-领先的进口精密仪器服务商欢迎您!

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电控三维位移台3D/4D-stage是专业为激光光学安装固定设计的电控XYZ位移台,并且可在三轴位移台基础上加上旋转台组成四轴位移台功能。
电控三维位移台采用三个电控直线线性位移台组成,可以增选一个电控旋转台用于θ轴旋转。三维位移台组成XYZ维的位移,可提供行程距离有25mm、100mm或200mm,每个轴可以独立选择。
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图1:电控三维位移台实物图3D-stage
三个XYZ三维线性位移台采用闭环直流伺服电机,交叉滚筒轴承,高精度丝杆和高分辨率定位反馈编码器控制,从而保证了位移台平滑和精确的运动。与其它工作台一样,这些电控三维位移台可以极慢的速度均匀移动,电控三维位移台提供各种速度/精度选项,也可订制3D/4D位移台系统,通常通过一个适配板把各个位移台组装在一起。
电控三维位移台可以使用各种各样的控制器,这些控制器和工作台可以相互兼容,推荐使用自由的MS2000位移控制器,可自动纠偏,并可通过RS-232或USB连接与上机位进行通讯。
电控三维位移台参数
技术参数 尺寸
编码器分辨率* 5.5 nm
线性编码器 10 nm
RMS重复精度(典型) < 0.7 μm
采用线性编码器重复精度(典型) 200 nm
丝杆精度 0.25 μm/mm
采用线性编码器后的丝杠精度 ± 3 μm/length scale
最大速度* 1.75 mm/sec
行程范围 25~100mm
*注:采用1.59 mm螺距的丝杠(16TPL)
电控三维位移台丝杠附件
丝杆螺距选择 旋转编码器分辨率 最大速度
25.40 mm (极粗) 88 nm 28 mm/sec
12.70 mm (超粗) 44 nm 14mm/sec
6.35 mm   (标准) 22 nm 7 mm/sec
1.59 mm   (细) 5.5 nm 1.75mm/sec
0.635 mm (极细) 2.2 nm 0.7mm/sec
注:采用旋转编码器和6.35毫米螺距丝杆
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图2:电动四维位移台4D-stage俯视图(由XYZ三维位移台+旋转台构成)

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