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晶圆电阻率测试仪
  • 晶圆电阻率测试仪非接触方式测量晶圆电阻率|测量P/N掺杂||晶圆厚度-孚光精仪

晶圆电阻率测试仪

晶圆电阻率测试仪采用非接触方式测量晶圆电阻率,测量P/N类型和晶圆厚度,适合硅材料和其它材料的Sheet Resistance测量。
型号:
FPEH-MX60
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-51300728 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-领先的进口精密仪器服务商欢迎您!

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晶圆电阻率测试仪采用非接触方式测量晶圆电阻率,测量P/N类型和晶圆厚度,适合硅材料和其它材料的Sheet Resistance测量。
晶圆电阻率测试仪应用
晶圆制造,晶圆品控,晶圆检测等。
晶圆电阻率测试仪规格参数
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晶圆电阻率测试仪-低电阻测量
Gauge Types Wafer Diameter 精度 重复精度 Resistivity Range Thickness Range 说明
MX 604 / MX 604-B silicon blocks ±3%   0.25 - 25 Ohm*cm    
MX 604-S 2" - 8" ±3% 0.5% 0.1 - 50 Ohm/square 200 - 900µm  
MX 604-ST 125x125, 156x156mm
2"-6"
±5%   0.06 - 30 Ohm*cm 60 - 300µm  
MX 608 6", 8"     0.001 - 200 Ohm*cm 500 - 800µm 厚度,TTV,电阻率,P/N掺杂
MX 608-q 125x125, 156x156mm     0.1 - 50 Ohm*cm 150 - 350µm 厚度,TTV,电阻率
MX 6012 8", 12"     0.001 - 200 Ohm*cm 600 - 900µm 厚度,TTV,电阻率,P/N掺杂

晶圆电阻率测试仪-低电阻测量

Gauge Types Wafer Diameter Resistivity Range Thickness Range
MX 601 up to 6" 5E4 to 5E9 Ohm*cm 350 - 650µm
MX 6010 2", 3", 4" 2E5 to 2E9 Ohm*cm 300 - 600µm

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