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晶圆翘曲度厚度测试仪
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晶圆翘曲度厚度测试仪

晶圆翘曲度厚度测试仪是专业为晶圆翘曲度测量和晶圆厚度测量设计的晶圆厚度翘曲度测量仪器。
型号:
FPEH-MX20
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-51300728 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-领先的进口精密仪器服务商欢迎您!

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晶圆翘曲度厚度测试仪是专业为晶圆翘曲度测量和晶圆厚度测量设计的晶圆厚度翘曲度测量仪器。
晶圆翘曲度厚度测试仪应用
晶圆来料检测
晶圆研发和质量控制
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标准厚度型号

型号 晶圆 直径 传感器计数 可测厚度范围 精度 分辨率 测量指标
MX 203-4-21 2", 3", 4" 5, 13, 21 200 - 800µm 1µm 0.1µm 厚度,TTV,BOW, Warp
MX 203-6-33 4", 5", 6" 17, 25, 33 300 - 900µm 1µm 0.1µm 厚度,TTV,BOW, Warp
MX 203-8-37 6", 8" 21, 37 400 - 1000µm 1µm 0.1µm 厚度,TTV,BOW, Warp
MX 204-8-37 6", 8" 21, 37 400 - 900µm 1µm 0.1µm 厚度,TTV,BOW, Warp
MX 2012 12" 69 500 - 1000µm 1µm 0.1µm 厚度,TTV,BOW, Warp
MX 2012-H 12" 69 500 - 900µm 1µm 0.1µm 厚度,TTV,BOW, Warp
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背面研磨型
型号 晶圆直径 传感器计数 可测厚度范围 精度 分辨率 测量指标
MX 203-6-33-B 4", 5", 6" 17, 25, 33 100 - 700µm 1µm 0.1µm 厚度,TTV,BOW, Warp
MX 203-8-37-B 6", 8" 21, 37 200 - 700µm 1µm 0.1µm 厚度,TTV,BOW, Warp
MX 203-58-37 5", 6", 8" 13, 21, 37 200 - 800µm 1µm 0.1µm 厚度,TTV,BOW, Warp
MX 203-8-49-B 4", 5", 6", 8" 17, 25, 33, 49 150 - 650µm 1µm 0.1µm 厚度,TTV,BOW, Warp
MX 204-8-37-B 6", 8" 21, 37 200 - 700µm 1µm 0.1µm 厚度,TTV,BOW, Warp
MX 204-6-13-V 5", 6" 5, 13 100 - 700µm 1µm 0.1µm 厚度,TTV,BOW, Warp
MX 204-8-21-V 6", 8" 13, 21 100 - 700µm 1µm 0.1µm 厚度,TTV,BOW, Warp
MX 2013 8", 12" 21, 37 100 - 750µm 1µm 0.1µm 厚度,TTV,BOW, Warp
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高阻抗率
型号 晶圆直径 传感器数 厚度范围 精度 分辨率 测量指标
MX 203-4-37-Q 2", 3", 4" 21, 37 300 - 800µm 1µm 0.1µm 厚度,TTV
MX 203-6-33-Q 3", 4", 5", 6" 9, 13, 21, 33 300 - 800µm 1µm 0.1µm 厚度,TTV

太阳能领域
型号 可容纳晶圆尺寸 传感器数 厚度范围 精度 分辨率 测量指标
MX 203-6-41-q 100x100, 125x125, 156x156 21, 33, 41 160 - 700µm 1µm 0.1µm 厚度,TTV,BOW, Warp
MX 204-8-25-q 125x125, 156x156 17, 25 150 - 600µm 1µm 0.1µm 厚度,TTV,BOW, Warp
MX 204-8-49-q 125x125, 156x156 25, 49 100 - 600µm 1µm 0.1µm 厚度,TTV,BOW, Warp

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