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薄膜应力测量仪
  • 薄膜应力测量仪Toho FLX对薄膜和衬底进行应力测量确定表面应力

薄膜应力测量仪

薄膜应力测量仪Toho FLX提供热循环和环境自动旋转型号,可对各种薄膜和衬底进行准确的应力测量,确定和分析沉积薄膜引起的表面应力。
型号:
FPTOH-FLX
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-2279 9028 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-**的进口激光精密科学仪器服务商欢迎您!
  • 商品详情
薄膜应力测量仪Toho FLX提供热循环和环境自动旋转型号,可对各种薄膜和衬底进行准确的应力测量,确定和分析沉积薄膜引起的表面应力。
薄膜应力测量仪可以在-65°C至500°C的温度范围内,以每分钟25°C的加热速率进行现场应力测量(可选择将冷却装置冷却至-65°C)。了解应力随温度的变化对于表征材料特性(如应力松弛、水分演变和相变)至关重要。
对于应力膜,可能会出现诸如位错、空隙和裂纹之类的缺陷。薄膜应力测量系统有助于排除下列应用的故障:
铝应力引起的空隙
钝化开裂(氮化物、氧化物)
硅中的应力诱导位错
电气试验产量下降
硅化钨裂解
温度循环过程中氧化物的应力增加
恒流应力测试(CCST)退化
GaAs上的匹配金属化扩展
高薄膜应力导致硅破裂
薄膜应力测量仪规格参数(热循环型-2320-S)
***大扫描直径:200mm
测量范围:1-4000Mpa
重复精度:1.3MPa
精度:2.5%或1Mpa
***小半径:2m
***大半径:33km
工作温度:室温-500℃
晶圆mapping: 手动
3D mapping: 可选
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