电子束-电阻热蒸发复合镀膜系统

电子束-电阻热蒸发复合镀膜系统集合了电子束沉积镀膜和电阻式热蒸发镀膜沉积功能,
电子束-电阻热蒸发复合镀膜系统特点
电抛光不锈钢腔室（D形盒）
带手动快门的前门上的4“直径观察口
带水冷坩埚的单/多槽电子束源（4cc至75cc）
带X-Y扫描控制器的高压电源（3kW至15kW）
匹配双级旋转叶片泵的涡轮分子真空泵系统
带沉积控制器的石英晶体厚度传感器
带数字显示和读数的全量程真空计
两个带独立百叶窗的电阻热源
PLC控制系统
电子束-电阻热蒸发复合镀膜系统可选配项目
冷水机
具有样本传输适应性的负载锁定系统
多轴基板台旋转
石英灯加热器（从300°C到800°C）
行星基台
PC控制系统
水冷基板级
SQC 310膜厚监测器和沉积控制器
电动快门组件
大容量坩埚及电源
干式涡旋泵
低温泵送系统
冷阴极或热阴极电离计
可调尺寸和高度，适用于基板平台
用于未来升级的额外备用法兰
带数字读数的质量流量控制器
射频清洗能力
现场掩模变换器