这款高温
探针台是为高温环境器件测试或真空环境或气体环境器件
探针台分析测试而设计。手动高温
探针台可测试50mm x 50mm的晶圆样品，电控或半自动高温
探针台可测试100mm或*大尺寸晶圆样品。
高温
探针台在真空环境下可测量温度环境高达700摄氏度,在非真空环境下可测650摄氏度。
高温
探针台特点
具有手动，半自动或电控
探针台配置方案
探针臂可配备额外手动微操作器，方便微纳操作
可配备空气或液氮制冷的热晶圆夹盘
标配7:1X放大透镜管，分辨率可达4微米
可选配12.5:1或16:1X放大透镜管
有效振动隔离
快速制冷和加热选项
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