二维线性XY平移台-250x250mm/30kg

这款二维线性XY平移台是采用光学编码器的电控高精度直驱平移台,提供零反冲高精度平移运动,非常适合用作二维载物台等重复性扫描定位平移应用。
二维线性XY平移台采用线性非接触式光学编码器作为反馈系统,使得位置控制高达亚纳米级分辨率。
二维线性XY平移台采用自然老化铝合金确保了平移台高温稳定性和轻巧性,以及*良的长周期运动,导轨系统不会发生漂移。
二维线性XY平移台可以用于洁净空间环境或真空度10^-3Torr的真空环境,也可根据用户要求提供高真空直驱平移台。
二维线性XY平移台可以轻松地直接连接到光学平台上,可直接安装搭建成电动XY二维平移台,无需使用任何连接板,也可按要求提供垂直Z轴平移台。
二维线性XY平移台还可以安装到花岗岩龙门架或高精度平台上实现高精度平移定位。

二维线性XY平移台特点
超低剖面超薄设计
分辨率高达1nm
直接驱动无返程系统
高分辨率非接触式光学编码器
高精度线性导向和运载系统
***大速度高达1200mm/s
超长使用寿命
方便集成到各种平台或光学机械系统中
二维线性XY平移台规格参数

型号	8MTLF250XY-2L-2U-4LEn1	8MTLF250XY-1L-2U-3LEn1	8MTLF250XY-2L-1U-3LEn1	8MTLF250XY-1L-1U-2LEn1
运动学部分参数
行程范围	250 x 250mm
编码器类型	光学编码器
编码器型号	LEN1
编码器分辨率	25nm~5µm (任意数据由用户指定)
编码器接口	差分接口RS422
内部放大器	YES
放大系数 1)	4-200 (按要求提供)
编码器光栅周期	20µm
参考标记	Yes
绝对精度 2)
校准前,	±5µm	±6µm
校准后, µm	±1.5µm	±2µm
	N/A
双向重复定位精度(peak-peak)2)	±0.25µm	±0.5µm
双向重复定位精度(RMS) 2)	±0.15µm	±0.30µm
Pitch 3)	±30 / ±6.20 µrad / arcsec
Yaw 3)	±30 / ±6.20 µrad / arcsec
Roll	N/A
***大速度(负载4kg) 4)	<1500mm/s
***大加速度(负载4kg) 5)	<20000mm/s2
限位开关类型(Safety)	Hall Sensors
限位开关极性(Safety)	Pushed is closed
限位开关电压	5…24V
负载和导向部分参数
位移台类型	Real Gantry (MIMO)	Planar-Gantry Hybrid		Planar
线性电机型号	LM5
线性电机类型	Ironless BLDC motor
***大Bus Voltage	>300VDC
电机数量	4	3		2
***大负载 (中心位置加载) 6)
水平负载	30kg
竖直负载	N/A
运动质量 7),
X (底部), kg	39.1kg	37.8kg	34.4kg	33.9kg
Y (上部), kg	7.5kg	7.1kg	7.5kg	7.1kg
导向系统	Recirculating linear rails and carriages units with caged balls
Material & Environment Conditions
Housing Material	Aluminum Alloy
Housing Coating (Finish)	Black Anodizing
Environment Pressure	Normal Atmosphere
Operating Temperature, °C	20±2
Control, Communication and Cabling
Recommended Controllers 8)	ACS Products Line or 8SMC5-USB series
Recommended Drivers 8)	ACS Products Line or 8SMC5-USB series
Recommended Power Supply 9)	2 phase / 3 phase source
Recommended Communication Interface 12)	EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP
Cable Length, m	2 (other by request)
Differential Outputs 10)	On request
Accessories Information
Base Plate for Mechanical Interface	Granite is recomended
Z Configuration	Not available (choose from other Standa stages series)
Additional Details
Dimensions of Moving Platform (W x L), mm	430 x 430
Overall Linear Stage Dimensions (W x L x H), mm	746 x 746 x 106
Measurement System	Metric/Imperial
Orthogonality11), µrad / arcsec	24 / 5
Protection Level	Request  support
RoHS	Compliant
Weight, kg	~68

1)  默认为x4转PPR-脉冲数/每转，模拟SIN/COS编码器接口
2)绝对精度和双向重复定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer测量计算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 电子自相关仪器测试,电子自相关仪11D-ALI-COL分辨率1µrad. 环境误差1µrad.
4) ***大速度由编码器限制和驱动器CUT-OF频率以及导向系统限制.
5)***大加速度由驱动器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)决定.
6)负载能力由导向系统决定.
7) 运动质量是系统常数m₀,通常是没有负载时的惯性。
8) 推荐的控制器和驱动器有助于发挥电动平移台的性能.
9) 推荐的电源是根据用户的占空比和负载来选择.
10) 差分输出接口,可提供主动或被动LCMv2接口.
11) 可组成正交性能**的XY二维电动位移台系统.
12) 标量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通讯接口,矢量控制建议采用EtherCAT接口。
13) 平移台包括特殊封盖,可用于灰尘严重或湿度较大的环境。