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薄膜粘附力热学测试仪
  • 薄膜粘附力热学测试仪_膜特性分析测试仪器采用异步光学采样ASOPS测量薄膜粘附力_薄膜热导率_附着力

薄膜粘附力热学测试仪

这款薄膜粘附力热学测试仪是为薄膜厚度测量,薄膜粘附力测量和薄膜热导率测量设计的薄膜特性分析测试仪器。采用专利光声显微镜和异步光学采样ASOPS技术实现高精度薄膜力学特性测量,厚度和附着力测量。
型号:
FPNET-JAX
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
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  • 商品详情
这款薄膜粘附力热学测试仪是为薄膜厚度测量,薄膜粘附力测量和薄膜热导率测量设计的薄膜特性分析测试仪器。采用专利光声显微镜和异步光学采样ASOPS技术实现高精度薄膜力学特性测量,厚度和附着力测量。
薄膜粘附力热学测试仪特别适合测量从几纳米到几微米的薄层,可分析不透明薄层(金属、金属氧化物和陶瓷)和半透明和透明薄层, 不受样品形状的影响和限制。
薄膜粘附力热学测试仪应用
适合材料:Al, Si, Ti, Cr, Ni, Cu, Mo, Ru, Ag, Ta, W, Au, 陶瓷
电子器件纳米涂层研究和无损检测
显示屏领域有机薄膜,ITO,银薄膜测试
各种涂层研究
适合单层薄膜和多层薄膜
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半导体器件结构的三层薄膜Mapping结果(上层W layer, 中间TiN层,底图SiO2层)
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薄膜厚度测量发现的不均匀(薄膜Mapping无损分析)

薄膜粘附力热学测试仪规格参数
功能:测量薄膜厚度,附着力,热特性,力学特性E,G,n
光谱覆盖:1550nm/775nm, 1064nm/532nm/355nm
横向分辨率:高达250nm
深度分辨率:不低于1nm
声波带宽:高达10THz
扫描速度:最高5mm/s
重复精度:0.01%
测量模式:单点,线扫描,SAM, Mapping
样品: 平整晶圆,3D样品,高曲率样件
重量:约170kg 
 

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