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纳米线性位移平台
  • 纳米线性位移平台SLLV42是德国长行程范围线性纳米位移平台_孚光精仪

纳米线性位移平台

纳米线性位移平台SLLV42是长行程范围的线性纳米位移平台,基于循环球滑块设计,小滑块结合不同长度的导轨,使其可以进行精确远程纳米位移定位或在有限空间内大行程范围的纳米位移定位。可以在同一个轨道上放置多个滑块。分辨率<1nm,负载能力30N(3kg),真空度低至10^-11mbar,行程范围70~1480mm,尺寸54.8 x 60 x 16 mm^3。
型号:
FPSMA-SLLV42
品牌:
孚光精仪
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-2279 9028 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-**的进口激光精密科学仪器服务商欢迎您!

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纳米线性位移平台SLLV42是长行程范围的线性纳米位移平台,基于循环球滑块设计,小滑块结合不同长度的导轨,使其可以进行精确远程纳米位移定位或在有限空间内大行程范围的纳米位移定位。可以在同一个轨道上放置多个滑块。
纳米线性位移平台SLLV42可由我们的任何控制单元操作,也可用于高真空应用。
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纳米线性位移平台SLLV42规格参数
型号 SLL12 SLLA42 SLLV42
分辨率 <1nm <1nm <1nm
负载 30N(3kg) 30N(3kg) 30N(3kg)
适合真空度 10-11 mbar 10-11 mbar 10-11 mbar
行程范围 70~475mm 70~1480mm 70~1480mm
步进1 1-1500nm 1-1500nm 1-1500nm
扫描范围 >1.5um >3um >3um
扫描分辨率 <1nm <1nm <1nm
速度 >20mm/s  >20mm/s >20mm/s
***大频率 18.5KHz 18.5KHz 18.5KHz
阻尼力Fb >3N >5N >5N
***大正向力Fn 30N 30N 30N
***大升力Fl >1N >1.5N >1.5N
尺寸 33.8 x 27 x 13 mm3 54 x 60 x 16 mm3 54.8 x 60 x 16 mm3
重量 44g 148g 148g
钢轨重 59 g / 100 mm 286 g / 100 mm 286 g / 100 mm
pitch俯仰力矩Mp 6Nm 25Nm 25Nm
yaw偏航力矩My 6Nm 25Nm 25Nm
roll扭转力矩Mr 11Nm 90Nm 90Nm
Closed-Loop-S
传感器分辨率
1nm 1nm 1nm
Closed-Loop-S
重复精度
± 70 ~450 nm 2 ± 70 ~450 nm 2 ± 70 ~450 nm 2
纳米线性位移平台SLLV42可选项目
多运载滑块
沉头孔、螺纹孔(M4)
黑色阳极氧化(-BK)
闭环所需的螺纹孔M4
-HV (10-6 mbar) 3
纳米线性位移平台SLLV42配件
纳米线性位移平台SLLV42具有多种配件方便用户使用,可以配备各种规格的适配板,也可集成压电驱动导轨用于搭建各种复杂纳米定位系统。
纳米线性位移平台SLLV42配件-被动运载滑块-可以安装到各种导轨上,方便移动定位样品
纳米线性位移平台SLLV42配件-终点阻挡器-安装到线性定位台上方便阻挡滑块脱轨
纳米线性位移平台SLLV42配件-宽定位台适配器-能够适配不同宽度的纳米线性定位台
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纳米线性位移平台SLLV42应用案例
我们采用两个纳米线性位移平台SLLV42和一套SR-7012纳米旋转定位台组成了3D纳米微操作器,能够负载300克样品,在XY和旋转方向为用户提供纳米定位,可用于真空环境,非常适合用于SEM扫描电子显微等样品定位。
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