这套
激光微加工平台特别为飞秒
激光微加工定位和飞秒激光微加工位移应用设计设计的纳米级
激光微加工平台和激光
微加工位移台,广泛适合全球主流的
飞秒激光器和
皮秒激光器,全面满足科学家和工程师自我搭建
激光微加工系统的要求, 已经在美国和欧洲被科学家和激光微纳设备制造商广泛采购使用。
这套
激光微加工平台采用
微加工领域全球主流的花岗岩架构,有效滤除振动对
微加工的影响,确保激光光束相对样品表面保持绝对的稳定。
激光
微加工平台采用罕见的纳米位移平台为样品提供定位,保持了全球**的定位精度,可靠性和重复性。
*多飞秒微加工系统请浏览官网:http://www.felles.cn/weijiagong.html
激光微加工平台参数:
行程范围:375mm x 200mm x 25(50)mm x
360° x
360°
分辨率:X,Y,Z=50nm, θz/x =1.095arc sec
精度: X,Y,Z =+/-1um, θz/x =10arc sec
重复精度:X,Y,Z =0.75um, θz/x =3arc sec
正交性:X-Y-Z =3arc sec, θz-θx =10arc sec
加速度:1G
行进速度:500mm/sec
稳定性:1nm
飞秒激光微加工平台控制器部分
电压:220VAC 专业为中国电力状况而设计
电源:5/10Amp
五轴控制能力
接口:网线或USB