多光子聚合激光工作站FemtoMPP是采用
飞秒激光增材技术的
飞秒激光多光子聚合光刻机,多光子聚合实验系统,采用立陶宛Lightconversion公司的Pharos或Carbide
飞秒激光器.
多光子聚合激光工作站特点
制造具有亚微米分辨率的复杂物体
高速超高精度
微加工
有效的光束传输和功率控制
Lightconversion公司的Pharos或Carbide
飞秒激光器
高性能扫描振镜
物体运动和激光脉冲在时间和空间上的同步。
控制所有硬件单元的独特软件接口。
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多光子聚合激光工作站加工结果
多光子聚合激光工作站配置
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标准型
|
高级型
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客户订制型号
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| 激光微加工技术 |
光刻胶激光增材 |
光刻胶激光增材 |
客户选择 |
| 激光 |
单/双波长飞秒激光 |
近红外、绿光、紫外激光 |
客户选择 |
| XY特征大小 |
300nm |
150nm（典型值200nm） |
STED可选 |
| ***佳 XY分辨率 |
700nm |
300nm |
取决于系统方案 |
| ***佳竖直分辨率 |
1.5um |
0.5um |
| Layer distance |
0.5-1µm |
0.05–3µm |
| ***大样品高度 |
1mm |
10mm |
| 构建体积 |
10x10x0.5mm |
60x60x10mm |
| ***大工作范围 |
60x60x5mm |
100x100x35mm |
客户选择 |
| ***小表面粗糙度，Ra |
50nm |
30nm |
取决于方案 |
| 扫描速度 |
0.1-1 mm/s |
0.1-100 mm/s |
| 自动聚焦 |
—— |
包括 |
客户的选择 |
| 功率控制 |
集成激光衰减器 |
集成激光衰减器 |
激光衰减器 |
| 振动去除 |
被动技术 |
隔振台 |
客户选择 |
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多光子聚合激光工作站加工结果
