这款
3D白光干涉仪是采用德国白光干涉技术的3D表面
形貌仪和3D表面
轮廓仪,测量精度可达亚纳米。
3D白光干涉仪采用引导性界面的软件,非常适合3D表面形貌测量,可用于大学,研究所,企业研发机构实验室。
3D白光干涉仪特点
白光干涉技术
引导性界面方便使用
快速测量
节省成本
可靠
测量高度可达220mm
测量精度可达亚纳米
高速测量
CNC功能
防碰撞安全机制
HD缝合功能支持大面积测量
高动态范围
3D白光干涉仪是高精度3D表面测量仪器,测量精度可达亚纳米,可快速给出可靠的3D表面形貌测量值。
3D白光干涉仪具有良*的分辨率,可测量大尺寸表面粗糙度,及时对于光滑表面,也能给出可靠的粗糙度数据。
3D白光干涉仪软件具有高清图像缝合功能,满足高分辨率大面积表面形貌测量。
3D白光干涉仪技术规格
图像采集像素:1440x1200像素 (可选2448x2048像素)
XY单次测量***多采集点:172.8万点
***高采样速度:140HZ @满幅分辨率
HDR: 16bit
***多测量点:500万
***大测量高度;220mm
***大样品重量:10kg
可测样品表面:反射率0.1-100%, 镀膜,非镀膜,反射表面和漫反射表面均可
竖直方向微调精度:250微米
XYZ
位移台:手动
XYZ行程范围:X200 Y105 Z220mm
重量:55kg