三维表面形貌仪是进口多功能
光学形貌仪,集成光学传感器,实现无接触地测量样本。
这种三维表面
形貌仪已应用于雕刻测量、纹理、抛光或微结构表面状态,尤其是在制表行业,和激光雕刻领域。
**技术
彩色共焦
可见光和红外干涉测量
激光三角测量
所有表面均可测量(粗糙的,透明的,抛光的表面等)
三维表面形貌仪规格参数
XYZ行程范围:100mm x 100mm x 100mm
***大速度:40mm/s
轴向平整度: <1u/100mm
轴向分辨率:0.062um
测量传感器:非接触式共聚焦传感器
测量范围:100um-25mm
Z轴分辨率:可达3nm
横向分辨率:0.9um
台阶高度测量:0.005%
粗糙度测量Ra/Sa: 20nm/20nm
***小测量厚度:4um