飞秒激光刻蚀机

这套飞秒激光刻蚀机是可以用于太阳能电池蚀刻刻膜的整套飞秒激光蚀刻机系统。可用于光伏电池激光加工,激光去除氮化硅膜,氮化硅膜激光蚀刻,晶圆边缘隔离使用。
飞秒激光刻蚀机采用紫外飞秒激光器提供如下服务：
—  SiNx/SiO2去除,
      去除二氧化硅,去除氮化硅         
      边缘隔离晶圆    
      背接触激光烧结和激光刻槽    

其中紫外飞秒激光器用于SiNx/SiO2的选择性刻蚀或切除(氮化硅膜蚀刻),配备的紫外飞秒激光器可以feichang精密地剥蚀SiNx(去除氮化硅膜),同时在Si层的直接或热效应降低到***低，从而增加载流子寿命（少子寿命）,避免微裂纹。
该飞秒激光刻蚀机配备自动处理和扫描系统，支持6英寸直径的硅晶片加工。同时配备机械视觉系统以随时调节激光束扫描,保持高度重复性和可靠性。
该飞秒激光刻蚀机配1级激光安装防护装置和灰尘消除系统，营造无尘加工环境，以保证飞秒激光器的精密刻蚀和热效应影响的***小化。