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晶圆定位台
  • 晶圆定位台Wafer200_并联动力学晶圆定位平台采用德国并联机器人hexapod_孚光精仪

晶圆定位台

晶圆定位台Wafer200采用德国并联机器人hexapod提供并联动力学晶圆定位平台功能,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度。
型号:
FPSMAR-wafer200
品牌:
孚光精仪
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-51300728 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-领先的进口精密仪器服务商欢迎您!

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晶圆定位台Wafer200采用德国并联机器人hexapod提供并联动力学晶圆定位平台功能,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度
晶圆定位台Wafer200采用模块化设计,其尺寸和强度可以适应不断变化的要求,从几厘米到几乎一米的行程都可提供,并具有纳米分辨率。
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晶圆定位台Wafer200规格参数
分辨率<1nm
最大负载:2000g (20N)
最大真空度:10^-11mbar
最大垂直载荷Fv:10N
定位器尺寸:420 x 430 x 93 mm3
重量:≈ 11 kg
行程范围:
x- 200 mm
y -200 mm
z -10 mm
Θx:6 °
Θy:
Θz:24 °

带纳米传感器-S闭环
最小增量(x,y,z):1nm
最小增量(Θx,Θy,Θz):1urad
重复精度(xyz全行程):±200 nm
重复精度(Θxyz全行程):±10urad
重复精度(1mm行程@xyz):±15 nm
材料和真空可选项目
纳米级距离编码传感器
-高真空HV (10-6 mbar)
更多六轴并联定位平台应用案例
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