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EUV等离子体光谱仪
  • EUV等离子体光谱仪_真空紫外焦光入射光谱仪单色仪适合EUV等离子体特性测量-孚光精仪

EUV等离子体光谱仪

EUV等离子体光谱仪是专业为光谱范围高达40nm的EUV等离子体特性测量而开发的VUV光谱仪,非常适合用作真空紫外焦光入射光谱仪单色仪。
型号:
FPIST-GISM
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
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EUV等离子体光谱仪是专业为光谱范围高达40nmEUV等离子体特性测量而开发的VUV光谱仪,非常适合用作真空紫外焦光入射光谱仪单色仪
EUV等离子体光谱仪特点

-单色仪和光谱仪模式
-恒定偏转角
-光栅精密旋转的波长扫描
千分尺驱动进出口狭缝组件;
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EUV等离子体光谱仪规格
入射角:φ=85°
衍射角:φ=81°
恒定偏差角:φ=φ±ψ=166°
光谱范围:442.5nm
可更换衍射光栅:1200600300 G/mm
光谱仪长度:250mm
20μm入口狭缝的光谱范围、色散和光谱分辨率(默认):
光栅,G/mm    光谱范围,nm    色散,nm/mm      分辨率,nm
1200          4.4-10.6           0.73-0.91           0.04
600           8.9-21.2           1.46-1.82           0.08
300           17.7-42.5          2.92-3.64           0.16

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