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纳米垂直升降台
  • 纳米垂直升降台_纳米垂直定位台采用纳米编码器_孚光精仪

纳米垂直升降台

纳米垂直升降台SHL系列是采用纳米编码器具有高负载能力的纳米垂直定位台,能够在Z轴垂直方向精确升降定位,具有不同范围的负载。分辨率<1nm, 负载8Kg,升降范围1mm,***大适合真空10-11 mbar。
型号:
FPSMA-SHL-1D80N-1
品牌:
孚光精仪
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-2279 9028 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-**的进口激光精密科学仪器服务商欢迎您!

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纳米垂直升降台SHL系列是采用纳米编码器具有高负载能力的纳米垂直定位台,能够在Z轴垂直方向精确升降定位,具有不同范围的负载。
纳米垂直升降台SHL-1D80N-1具有独立导轨,确保负载方向直线运动。并可以集成多种定位编码器用于直接位置反馈。
纳米垂直升降台SHL-1D80N-1专业为垂直升降定位而设计,可额外装备恒力弹簧抵消负载,从而获得平稳的*大负载值。
纳米垂直升降台SHL-1D80N-1采用纳米编码器可托举高达10kg负重升降数毫米高度,多轴系统可以在三个轴向提供*高阻尼力。
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纳米垂直升降台系列规格参数
型号
SHL-1D20N-10
SHL-1D80N-1 SHL-3D5N-1
分辨率 <1nm <1nm <1nm
负载 20N(2kg) 80 N (8 kg) 5 N (500g)
适合真空度 10-11 mbar 10-11 mbar 10-11 mbar
行程范围 10mm(+/-5mm) 1mm 1mm
步进 10-300nm 1 – 150 nm 1 – 150 nm
扫描范围 >500um > 500 µm > 500 µm
扫描分辨率 <1nm < 1 nm < 1 nm
速度 >5mm/s  > 1 mm/s >5mm/s
***大频率 10KHz 10 kHz 10 kHz
***大正向力Fn 20N 80N 5N
***大升力Fl 20N 80N 5N
尺寸2 65 x 75 x 50 mm^3 41 x 86 x 50 mm3 100 x 140 x 40 mm3
重量 400g 340g 650g
Closed-Loop-S
传感器分辨率1
1nm 1nm 1nm
Closed-Loop-S
重复精度2
+/-100nm +/-100nm +/-100nm
Closed-Loop-L
传感器分辨率
4nm 4nm 4nm
Closed-Loop-L
闭环分辨率
+/-500nm(H)CU,4nm MCS +/-500nm(H)CU,4nm MCS +/-500nm(H)CU,4nm MCS
Closed-Loop-L
重复精度
+/-1um(H)CU,+/-200nm MCS +/-1um(H)CU,+/-200nm MCS +/-1um(H)CU,+/-200nm MCS
说明:
1)重复精度是全行程测量数据,行程小时重复精度*高
2) 尺寸和其它处理工艺可定制

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