纳米垂直定位台

纳米垂直定位台SHL系列是采用纳米编码器具有高负载能力的三轴纳米定位台,能够在Z轴垂直方向精确升降定位,具有不同范围的负载。分辨率<1nm, 负载500g,升降范围1mm,***大适合真空10-11 mbar,可三轴纳米定位。

型号：

FPSMA-SHL-3D5N-1

品牌：

孚光精仪

价格：

￥0.00

类别：

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商品详情

纳米垂直定位台SHL系列是采用纳米编码器具有高负载能力的三轴纳米定位台,能够在Z轴垂直方向精确升降定位,具有不同范围的负载。
纳米垂直定位台具有独立导轨，确保负载方向直线运动。并可以集成多种定位编码器用于直接位置反馈。
纳米垂直定位台专业为垂直升降定位而设计,可额外装备恒力弹簧抵消负载,从而获得平稳的*大负载值。
纳米垂直定位台采用纳米编码器可托举高达10kg负重升降数毫米高度,多轴系统可以在三个轴向提供*高阻尼力。
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纳米垂直定位台系列规格参数

型号	SHL-1D20N-10	SHL-1D80N-1	SHL-3D5N-1
分辨率	<1nm	<1nm	<1nm
负载	20N(2kg)	80 N (8 kg)	5 N (500g)
适合真空度	10-11 mbar	10^-11 mbar	10^-11 mbar
行程范围	10mm（+/-5mm)	1mm	1mm
步进	10-300nm	1 – 150 nm	1 – 150 nm
扫描范围	>500um	> 500 µm	> 500 µm
扫描分辨率	<1nm	< 1 nm	< 1 nm
速度	>5mm/s	> 1 mm/s	>5mm/s
***大频率	10KHz	10 kHz	10 kHz
***大正向力Fn	20N	80N	5N
***大升力Fl	20N	80N	5N
尺寸2	65 x 75 x 50 mm^3	41 x 86 x 50 mm³	100 x 140 x 40 mm³
重量	400g	340g	650g
Closed-Loop-S 传感器分辨率1	1nm	1nm	1nm
Closed-Loop-S 重复精度2	+/-100nm	+/-100nm	+/-100nm
Closed-Loop-L 传感器分辨率	4nm	4nm	4nm
Closed-Loop-L 闭环分辨率	+/-500nm(H)CU,4nm MCS	+/-500nm(H)CU,4nm MCS	+/-500nm(H)CU,4nm MCS
Closed-Loop-L 重复精度	+/-1um(H)CU,+/-200nm MCS	+/-1um(H)CU,+/-200nm MCS	+/-1um(H)CU,+/-200nm MCS