| 激光器型号 | EX5 CO2 | EX10A CO2 | EX10 CO2 | EX100/CO2 | EX350/CO2 |
| 激光波长 mm | 10.6mm or 9.3mm | ||||
| TEM00模式下能量mJ 10.6mm or 9.3mm |
20 | 25 | 40 | 100 | 150 |
| 多模下能量mJ 10.6mm or 9.3mm |
20 | 25 | 75 | 400 | 1000 |
| 能量线调谐版本 | N/A | N/A | 20 | 100 | 500 |
| 平均激光功率 W | 3/6 | 5/10 | 5 | 20 | 9 |
| 重复频率 Hz | 200/400 | 250/500 | 100 | 60 | 10 |
| 动态气体寿命 （到 50%能量） |
>10E6 | >50E6 | >10E6 | >5E6 | >5E6 |
| 静态气体寿命 （到 50% 能量） |
60 Days | ||||
| 脉宽ns （FWHM） | 100 | 100 | 100 | 120 | |
| 光束直径, mm | 3 | 3 | 3 | 4 | |
| 稳定性 | <3% Standard Deviation | ||||
| 发散角（全角）, mRad | 3-4 mRad | ||||
| 制冷 | Air/Water | ||||
| 激光管寿命 | 10次脉冲 | ||||
