微尺度3D激光打印机,3D激光直写打印机具有3D激光打印机和3D激光直写
光刻机功能,可制作分辨率*于10微米的高分辨率3D微纳结构图案。
微尺度3D激光打印机,3D激光直写打印机可以在光刻胶上直写3D图案结构,可容纳100x100mm的平面衬底,直写打印的图案厚度高达50mm,适合大规模激光3D打印。
微尺度3D激光打印机,3D激光直写打印机可使用市场上的多数光胶和3D光刻材料,可以装配375nm或405nm激光器。
微尺度3D激光打印机,3D激光直写打印机
特色
高分辨率3D光刻,分辨率<10微米
大尺寸3D直写打印:100x100x50mm^3
可大深度聚焦
可选375nm或405nm紫外激光波长
光束***小可到5微米直径
直写步长可调
采用3D激光光刻软件控制
可以扫码直写或矢量直写
微尺度3D激光打印机,
3D激光直写打印机参数
线性直写速度:>50mm/s
位移台分辨率:100nm
重复精度:100nm
加工晶圆面积:1~4英寸
允许衬底厚度:250微米~10毫米
激光斑点尺寸:5微米~50微米
图示:
3D激光直写打印机打印结果图片(来源于Renatech客户系统)