高功率266nm紫外激光器各种规格参数比较
| 型号 | FQCW266-300 | FQCW266-500 | FQCW266-1000 |
| 波长 | 266nm±1nm | 266nm±1nm | 266nm±1nm |
| 输出激光功率 | 300mW | 500mW | 1000mW |
| 激光功率可调范围 | 30-300mW | 50-500mW | 100-1000mW |
| 线宽 | <300KHZ | <300KHZ | <300KHZ |
| 光束质量因子 | M2<1.3, TEM00 | M2<1.3, TEM00 | M2<1.3, TEM00 |
| 偏振 | 竖直偏振,>500:1 | 竖直偏振,>500:1 | 竖直偏振,>100:1 |
| 光束直径 | 1.0±0.1mm | 1.0±0.1mm | 1.0±0.1mm |
| 光束发散角 | <0.45mrad | <0.8mrad | <0.8mrad |
| 光束定位 指向稳定性能 |
<3urad/K, +/-200urad |
<3urad/K, <3urad/h |
<3urad/K, <3urad/h |
| 准直公差 | 横向±0.25mm, 角度±2.5mrad |
横向±0.25mm, 角度±2.5mrad |
横向±0.25mm, 角度±2.5mrad |
| 功率稳定性 | <0.2%RMS | <2%RMS | <2%RMS |
| 噪音(100KHZ-10MHZ) | <1%RMS | <1%RMS | <1%RMS |
| 功耗 | 约500W | 约500W | 约500W |
266nm,257.5nm连续紫外激光器
266nm连续DUV激光器
213nm/205nm深紫外激光器
266nm窄线宽纳秒激光器
高功率266nm纳秒激光器
266nm纳秒DPSS激光器
266nm紫外纳秒激光器
266nm低噪音窄线宽激光器
266nm拉曼光谱激光器
266nm单频紫外激光器
266nm单纵模单频激光器
高功率266nm紫外激光器