长寿命准分子激光器EX5D是按照工业激光标准设计的35W高功率准分子激光器,具有紧凑的激光器结构和高达60亿次脉冲的寿命。可提供157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽8~12ns,重复频率250Hz/500HZ/1000HZ/2000Hz,248nm激光功率高达35W，193nm激光功率高达20W。
长寿命准分子激光器特征
•饱和磁开关
•软电晕预电离
•无弧放电
•稳定能量输出
•气体寿命长
•数十亿脉冲
•高功率
•重复频率高达2000HZ
•多触发器自动充气
•低发散
•风冷式
长寿命准分子激光器EX5D规格
工作物质 F2 ArF KrF XeCl XeF
波长nm 157 193 248 308 351
***大能量mJ 3 24 40 20 15
平均功率W@250Hz 0.8 6 10 5 4
平均功率W@500Hz 1.5 12 20 10 7
平均功率W@1000 3 24 40 20 15
重复频率，Hz 250/500/1000/2000
***大能量mJ@2000Hz 1.5 10 14 10 7.5
平均功率W@2000Hz 3 20 28 20 15
动态气体寿命@50%能量 十亿脉冲的动态气体寿命
稳定功率W 2 20 35 15 10
脉宽ns 8-12
光束尺寸mm 3 X 6
稳定性 <2%标准偏差
激光管寿命 20-60亿脉冲
发散角mRad全角 0.8 X 1.5
冷却 空气/水
窗口服务 1000E6 1000E6 >1000E6 200E6 300E
光刻准分子激光器
