超高真空激光分子束外延集群系统

超高真空激光分子束外延集群系统 laser cluster将不同的薄膜和分析技术结合成一个强大的系统。***多可将七个单独的腔室连接到中央传输模块，从而在超高真空条件下实现复杂的处理！

超高真空激光分子束外延集群系统的核心是中央传输模块和负载锁定室。额外的沉积、分析和专门的转移模块很容易添加到系统中。由于系统的模块化设计（每个模块都安装在带轮子的独立支架上），这是一个快速而简单的过程。
超高真空激光分子束外延集群系统的设计既节省了空间，又提供了极佳的可接近性：所有真空室均为独立式，便于接近所有法兰和部件。

中央转移室和传输模块
中央转移和处理室是集群超高真空激光分子束外延集群系统的核心，高度灵活，可适应不同的工艺模块。它安装在一个坚固的钢架上，并具有用于六个或八个附加腔室的对接法兰。它还包括系统的烘烤加热器组件，包括一个带中央循环风扇的12 kW加热器。其他功能包括：
六/八个端口（一个由负载锁占据），带有CF63（4½”）或CF150（8”）法兰
钛升华/离子吸气剂组合泵在低压下的高抽运速度
低10−10毫巴标度基准压力
精确的中央重型机械手/转移机构，能够处理直径为6”、重量为1 kg、三个自由度（伸展、旋转、高度）的负载
转移系统可以转移衬底/样品，也可以转移激光MBE室的PLD靶盒
样品和目标转盘的可选内部存储系统
带顶置显示屏的摄像系统，方便监控传输
传输系统可以进行修改，以适应各个附加分析或处理系统的要求。